Полупроводнички носач за нафора за опрема MOCVD

Можете да бидете сигурни дека ќе купите полупроводнички носач за нафора за опрема MOCVD од нашата фабрика. Полупроводничките носачи на нафора се суштинска компонента на опремата MOCVD. Тие се користат за транспорт и заштита на полупроводничките наполитанки за време на производниот процес. Полупроводничките носачи на наполитанки за опремата MOCVD се направени од материјали со висока чистота и се дизајнирани да го одржуваат интегритетот на обландите за време на обработката.

Испрати барање

Опис на производот

нашиот полупроводнички носач на нафора за опремата MOCVD е суштинска компонента на процесот на производство на полупроводници. Изработен е од графит со висока чистота со облога од силициум карбид по CVD метод и е дизајниран да смести повеќе наполитанки. Носачот нуди неколку предности, вклучително и подобрување на приносот, зголемена продуктивност, намалена контаминација, зголемена безбедност и економичност. Ако барате доверлив и висококвалитетен полупроводнички носач за нафора за опрема MOCVD, нашиот производ е совршено решение.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот полупроводнички носач на нафора за опремата MOCVD.

Параметри на полупроводнички носач на нафора за MOCVD опрема

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии