Можете да бидете сигурни дека ќе купите полупроводнички носач за нафора за опрема MOCVD од нашата фабрика. Полупроводничките носачи на нафора се суштинска компонента на опремата MOCVD. Тие се користат за транспорт и заштита на полупроводничките наполитанки за време на производниот процес. Полупроводничките носачи на наполитанки за опремата MOCVD се направени од материјали со висока чистота и се дизајнирани да го одржуваат интегритетот на обландите за време на обработката.
нашиот полупроводнички носач на нафора за опремата MOCVD е суштинска компонента на процесот на производство на полупроводници. Изработен е од графит со висока чистота со облога од силициум карбид по CVD метод и е дизајниран да смести повеќе наполитанки. Носачот нуди неколку предности, вклучително и подобрување на приносот, зголемена продуктивност, намалена контаминација, зголемена безбедност и економичност. Ако барате доверлив и висококвалитетен полупроводнички носач за нафора за опрема MOCVD, нашиот производ е совршено решение.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот полупроводнички носач на нафора за опремата MOCVD.
Параметри на полупроводнички носач на нафора за MOCVD опрема
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии