Носачи на плочи обложени со SiC за MOCVD

Semicorex SiC Coated Plate Carriers for MOCVD е висококвалитетен носач дизајниран за употреба во процесот на производство на полупроводници. Неговата висока чистота, одличната отпорност на корозија, па дури и термичкиот профил го прават одличен избор за оние кои бараат носач што може да ги издржи барањата на процесот на производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Нашите носачи за MOCVD обложени со SiC се карактеризираат со висока чистота, што го прави одличен избор за оние кои бараат носач кој е многу униформен и конзистентен во неговите својства.
Нашите носачи на плочи обложени со SiC за MOCVD направени со облога од силициум карбид со висока чистота на графит, што го прави високо отпорен на оксидација при високи температури до 1600°C. Процесот на CVD хемиско таложење на пареа што се користи во неговото производство обезбедува висока чистота и одлична отпорност на корозија. Тој е многу отпорен на корозија, со густа површина и фини честички, што го прави отпорен на киселина, алкали, сол и органски реагенси. Неговата отпорност на оксидација на висока температура обезбедува стабилност при високи температури до 1600°C.

Параметри на носачите на плочи обложени со SiC за MOCVD

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии