Можете да бидете сигурни дека ќе купите SiC облоги од графитна подлога за носачи на нафора за MOCVD од нашата фабрика. Во Semicorex, ние сме голем производител и снабдувач на SiC обложен графит сусцептор во Кина. Нашиот производ има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Ние се стремиме да им обезбедиме на нашите клиенти производи со висок квалитет кои ги задоволуваат нивните специфични барања. Нашиот носач за обланда за подлога од графит со облога SiC за MOCVD е одличен избор за оние кои бараат носач со високи перформанси за нивниот процес на производство на полупроводници.
Носачот на нафора за подлога од графит со облога SiC за MOCVD игра клучна улога во процесот на производство на полупроводници. Нашиот производ е високо стабилен, дури и во екстремни средини, што го прави одличен избор за производство на висококвалитетни наполитанки.
Карактеристиките на нашите носачи на нафора со графитна подлога со SiC облога за MOCVD се извонредни. Неговата густа површина и фините честички ја зголемуваат неговата отпорност на корозија, што го прави отпорен на киселина, алкали, сол и органски реагенси. Носачот обезбедува рамномерен термички профил и гарантира најдобра шема на ламинарен проток на гас, спречувајќи каква било контаминација или нечистотии да се дифузираат во нафората.
Параметри на SiC обложување на носачи на нафора од графитна подлога за MOCVD
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD
- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии