SiC облогата е тенок слој на суцепторот преку процесот на хемиско таложење на пареа (CVD). Материјалот од силициум карбид обезбедува голем број на предности во однос на силициумот, вклучувајќи 10 пати поголема јачина на електричното поле на распаѓање, 3 пати јаз на лентата, што му обезбедува на материјалот висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, како и топлинска спроводливост.
Semicorex обезбедува приспособена услуга, ви помага да иновирате со компоненти кои траат подолго, го намалуваат времето на циклусот и го подобруваат приносот.
SiC облогата поседува неколку уникатни предности
Отпорност на високи температури: CVD SiC обложениот сензор може да издржи високи температури до 1600°C без да претрпи значителна термичка деградација.
Хемиска отпорност: Облогата од силициум карбид обезбедува одлична отпорност на широк спектар на хемикалии, вклучувајќи киселини, алкалии и органски растворувачи.
Отпорност на абење: SiC облогата му обезбедува на материјалот одлична отпорност на абење, што го прави погоден за апликации кои вклучуваат големо абење и кинење.
Топлинска спроводливост: CVD SiC облогата му обезбедува на материјалот висока топлинска спроводливост, што го прави погоден за употреба во апликации на високи температури кои бараат ефикасен пренос на топлина.
Висока јачина и вкочанетост: Степенот обложен со силициум карбид му обезбедува на материјалот висока јачина и вкочанетост, што го прави погоден за апликации кои бараат висока механичка сила.
SiC облогата се користи во различни апликации
Производство на LED: CVD SiC обложениот сензор се користи во производството обработени од различни типови LED, вклучувајќи сини и зелени LED, UV LED и длабоко UV LED, поради неговата висока топлинска спроводливост и хемиска отпорност.
Мобилна комуникација: CVD SiC обложениот чувствител е клучен дел од HEMT за да се заврши GaN-on-SiC епитаксијалниот процес.
Обработка на полупроводници: CVD SiC обложениот суцептор се користи во индустријата за полупроводници за различни апликации, вклучително и обработка на нафора и епитаксијален раст.
Графитни компоненти обложени со SiC
Направен од графит со облога со силициум карбид (SiC), облогата се нанесува со CVD метод на специфични сорти на графит со висока густина, така што може да работи во печка со висока температура со над 3000 °C во инертна атмосфера, 2200 °C во вакуум .
Посебните својства и малата маса на материјалот овозможуваат брзи стапки на загревање, рамномерна распределба на температурата и извонредна прецизност во контролата.
Податоци за материјалот на Semicorex SiC Coating
Типични својства |
Единици |
Вредности |
Структура |
|
Фаза FCC β |
Ориентација |
Дропка (%) |
111 претпочитано |
Масовна густина |
g/cm³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Топлински капацитет |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Термичко проширување 100â600 °C (212â1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300) |
430 |
Големина на зрно |
¼ м |
2~10 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Заклучок CVD SiC-обложениот сусцептор е композитен материјал кој ги комбинира својствата на сусцептор и силициум карбид. Овој материјал поседува уникатни својства, вклучувајќи висока температура и хемиска отпорност, одлична отпорност на абење, висока топлинска спроводливост и висока јачина и вкочанетост. Овие својства го прават атрактивен материјал за различни апликации на високи температури, вклучувајќи обработка на полупроводници, хемиска обработка, термичка обработка, производство на соларни ќелии и производство на LED.
Semicorex MOCVD SiC обложен графит сусцептор е напредна и специјализирана компонента што се користи во процесот на таложење на метално-органско хемиско пареа, клучна техника во производството на полупроводници, оптоелектронски уреди и други напредни материјали. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Susceptor Semiconductor, револуционерен графитен сенцептор прецизно направен за да го подигне вашето производство на полупроводници на нови височини. Дизајниран со прецизност и иновација, овој сензор може да се пофали со CVD SiC слој што го издвојува во индустријата. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Susceptor Plate е клучна компонента во процесот на епитаксијален раст, специјално дизајнирана да носи полупроводнички наполитанки за време на таложење на тенки филмови или слоеви. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеSemicorex Susceptor with Grid е специјализирана компонента која се користи во процесот на епитаксијален раст на полупроводничките наполитанки. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.
Прочитај повеќеИспрати барањеОтклучете го целосниот потенцијал на вашите полупроводнички епитаксијални процеси со Semicorex Ring Set – клучна компонента направена од графит обложен со SiC. Дизајниран да ја подигне ефикасноста и доверливоста на вашиот епитаксијален раст, овој мал, но моќен додаток игра клучна улога во обезбедувањето оптимални перформанси во средини за производство на полупроводници.
Прочитај повеќеИспрати барањеПодобрете ја ефикасноста и прецизноста на вашите полупроводнички епитаксијални процеси со врвниот Semicorex Epi Pre Heat Ring. Изработен со прецизност од графит обложен со SiC, овој напреден прстен игра клучна улога во оптимизирањето на вашиот епитаксијален раст со претходно загревање на гасовите од процесот пред да влезат во комората.
Прочитај повеќеИспрати барање