Силициум карбид графит супстрат MOCVD сусцептор

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor е врвен избор за производителите на полупроводници кои бараат висококвалитетен носач кој може да испорача супериорни перформанси и издржливост. Неговиот напреден материјал обезбедува рамномерен термички профил и шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи висококвалитетни наполитанки.

Испрати барање

Опис на производот

Нашиот MOCVD Susceptor за подлога од силикон карбид графит е многу чист, направен со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање на висока температура, обезбедувајќи униформност и конзистентност на производот. Тој е исто така високо отпорен на корозија, со густа површина и фини честички, што го прави отпорен на киселина, алкали, сол и органски реагенси. Неговата отпорност на оксидација на висока температура обезбедува стабилност при високи температури до 1600°C.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот MOCVD подлога од силикон карбид графит.

Параметри на силициум карбид графит супстрат MOCVD сусцептор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен при високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии