Сензиптори за MOCVD реактори

Сусцепторите на Semicorex за MOCVD реактори се висококвалитетни производи што се користат во индустријата за полупроводници за различни апликации како што се слоеви од силициум карбид и епитаксии полупроводници. Нашиот производ е достапен во форма на запчаник или прстен и е дизајниран да постигне отпорност на оксидација на висока температура, што го прави стабилен на температури до 1600°C.

Испрати барање

Опис на производот

Нашите сусцептори за MOCVD реактори се направени со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура, обезбедувајќи висока чистота. Површината на производот е густа, со фини честички и висока цврстина, што го прави отпорен на корозија на киселина, алкали, сол и органски реагенси.
Нашите сусцептори за MOCVD реактори се дизајнирани да обезбедат обложување на сите површини, избегнувајќи лупење и постигнување на најдобра шема на ламинарен проток на гас. Производот гарантира рамномерност на термичкиот профил и спречува каква било контаминација или дифузија на нечистотии во текот на процесот, обезбедувајќи резултати со висок квалитет.
Во Semicorex даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на сусцептори за MOCVD реактори

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложен графит сусцептор за MOCVD

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина
Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C
Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа во услови на хлорирање со висока температура.
Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.
Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас
- Гарантира рамномерност на термичкиот профил
- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии