4-инчни SIC чамци

Semicorex 4-инчни SIC чамци се дизајнирани да ги исполнат бараните барања за современи процеси на производство на полупроводници, особено во висока температура и корозивни средини. Изграден со прецизност од висока чистотаСик материјал, овие чамци нудат исклучителна термичка стабилност, механичка јачина и хемиска отпорност-што ги прави идеални за безбедно ракување и обработка на 4-инчни нафори за време на дифузија, оксидација, LPCVD и други третмани со висока температура.

Процесот на производство на чипови на нафора на полупроводници главно опфаќа три фази: (предна фаза) производство на чипови, (средна фаза) производство на чипови, (задната фаза) пакување и тестирање. (предна фаза) Процесот на производство на чипови главно вклучува: влечење единечни кристали, мелење на надворешни кругови, исекување, комекција, мелење и полирање, чистење и тестирање; (средна фаза) Производството на чипс на нафта главно вклучува: оксидација, дифузија и други топлински третмани, таложење на тенки филмови (CVD, PVD), литографија, гравирање, јонска имплантација, метализација, мелење и полирање и тестирање; (Задна фаза) Пакувањето и тестирањето главно вклучува сечење чипс на нафта, врзување со жица, пластично запечатување, тестирање, итн. Вклучените клучни процеси и опрема вклучуваат: литографија, гравирање, јонска имплантација, таложење на тенок филм, хемиско механичко полирање, третман на топлина на висока температура, пакување, тестирање итн.

In the process of semiconductor chip manufacturing, the six important processes of high-temperature heat treatment, deposition (CVD, PVD), lithography, etching, ion implantation, and chemical mechanical polishing (CMP) require not only cutting-edge equipment, but also a large number of high-performance precision ceramic components in these equipment, including electrostatic chucks, vacuum suction cups, heaters, transfer Оружје, прстени за фокусирање, млазници, работни маса, облоги на шуплини, прстени за таложење, пиедестали, чамци за нафта, цевки за печки, лопатки од конзола, керамички куполи и шуплини, итн.

Секој 4-инчен SIC брод се подложува на строга контрола на квалитетот, вклучувајќи димензионална инспекција, мерење на плошноста и тестирање на термичка стабилност. Завршувањето на површината и геометријата на слотот може да бидат прилагодени на спецификациите на клиентите. Опционалните облоги и полирањето можат дополнително да ја подобрат хемиската отпорност или да го минимизираат задржувањето на микро-честичките за апликациите за ултра-чиста соба.

Кога прецизноста, чистотата и издржливоста се клучни, нашите 4-инчиSicБродовите обезбедуваат супериорно решение за напредна обработка на полупроводници. Верувајте во нашата експертиза и материјална извонредност за подобрување на перформансите и приносите на вашите процеси.