Грејачи на алуминиум нитрид

Грејачите на алуминиум на Semicorex се најсовремени елементи за керамичко греење дизајнирани за апликации кои бараат висока топлинска спроводливост, електрична изолација и исклучителна издржливост. Инженерски од алуминиум нитрид керамика, овие грејачи обезбедуваат брзо и униформно греење, што ги прави идеални за околини со голема прецизност, како што се обработка на полупроводници, медицинска дијагностика и напредна аналитичка инструментација.

Грејачите на алуминиум нитрид се клучни компоненти во опремата за таложење на тенки филмови на полупроводници. Тие директно се применуваат во процесната комора и во директен контакт со нафтата. Тие не само што го носат нафтата, туку и осигуруваат дека нафтата ќе добие а 

стабилна и униформа температура на процесот. Оваа одлика е од суштинско значење за реакции со голема прецизност на површината на нафтата и генерацијата на униформни тенки филмови.

Обично, грејачите на алуминиум нитрид вклучуваат керамичка подлога со површина за вчитување на нафта и цилиндрично тело за поддршка што го поддржува на задниот дел. Покрај отпорното коло за греење за греење, RF електрода и електростатска чак електрода и други проводници се исто така обезбедени во или на површината на керамичката подлога.

Опремата за таложење на тенок филм обично користи керамички материјали засновани наалуминиум нитрид (АЛН)затоа што вклучува високо-температурна околина. Причината зошто грејачите на алуминиум нитрид се фаворизираат во производството на полупроводници, главно, се должи на нивните уникатни физички и хемиски својства. Алуминиум нитрид не само што има висока термичка спроводливост и може да постигне брзо загревање и ладење за кратко време, туку има и добра електрична изолација и механичка јачина, обезбедувајќи стабилност и сигурност на грејачот. Покрај тоа, термичкиот коефициент на експанзија на алуминиум нитрид е сличен на оној на силикон, што помага да се намали влијанието на термичкиот стрес врз нафтата и да се подобри приносот на процесот.

Општо земено,Керамички грејачиглавно се користат во опрема за таложење на тенки филмови. Бидејќи вклучува процеси на висока температура, користениот керамички материјал е главно алуминиум нитрид; Електростатските чакови главно се користат во опрема за гравирање, а користениот керамички материјал е главно алуминиум оксид. Со развојот на полупроводничка технологија, постои преклопување помеѓу керамички грејачи и електростатски чакови. На пример, керамичките грејачи што се користат во опремата за таложење на тенки филмови се опремени со електростатски чакови, кои имаат двојни функции на греење со висока температура и електростатска адсорпција. Електростатските чакови што се користат во опремата за гравирање, исто така, почнуваат да вклучуваат процеси на висока температура, а керамичкиот материјал мора да се смени од алуминиум оксид во алуминиум нитрид.