Горни прстени за земја обложени со CVD SiC

CVD SiC-обложените горни заземјувачки прстени обично се инсталираат во горниот дел на комората за реакција во опремата за офорт со плазма, опкружувајќи ја електростатската чак на нафора. Горните земјени прстени обложени со CVD SiC се од витално значење за целиот систем за офорт, кој може да дејствува како физичка бариера за да ги заштити компонентите на уредот од напад на плазма и да го прилагоди внатрешното електрично поле и да го ограничи опсегот на дистрибуција на плазмата за да обезбеди униформни резултати на офорт.

Плазма офорт е технологија на суво офорт што широко се користи во производството на полупроводници, која работи со користење на физички и хемиски интеракции помеѓу плазмата и површината на полупроводничките материјали за селективно отстранување на одредени области, со што се постигнува обработка на прецизни структури. Во бараното опкружување на плазма офорт, високоенергетската плазма предизвикува агресивна корозија и напад на компонентите внатре во комората за реакција. За да се обезбеди сигурна и ефикасна работа, компонентите на комората мора да имаат одлична отпорност на корозија, механички својства и карактеристики на ниска контаминација. Горните земјени прстени обложени со Semicorex CVD SiC се совршено дизајнирани за да се справат со овие сурови работни опкружувања со висока корозија.

Сигурен CVD SiC облога

За подобри перформанси во суровите услови на офорт, горните прстени обложени со Semicorex CVD SiC се покриени со CVD SiC слој со високи перформанси, што дополнително ги подобрува нивните перформанси и издржливост.

1. Ултра-висока чистота

НаSiC облогапроизведени преку CVD процес се карактеризира со одлично згуснување со ултра висока чистота (чистотата надминува 99,9999%), што може да ги спречи горните заземјени прстени обложени со Semicorex CVD SiC од високоенергетски напад на плазма во апликациите за офорт, со што се избегнува контаминација предизвикана од честички од нечистотија од матриците.

2. Подобрена отпорност на корозија

SiC облогата направена преку CVD процес нуди подобрена отпорност на корозија, што ги прави Semicorex CVD-обложените SiC-обложени горните земјени прстени ефикасно да ја издржат предизвикувачката корозија од плазмата (особено корозивни гасови како што се халогените и флуорот).

3. Подобрени механички својства

Горните земјени прстени обложени со Semicorex CVD SiC можат да издржат интензивно плазма бомбардирање, механички стрес и често ракување без деформација или фрактура за време на долготрајно сервисирање благодарение на зголемената цврстина и отпорност на абење на CVD SiC облогата.

Високостандардна обработка и проверка на квалитетот

За совршено да се прилагодат на напорните услови за офорт со полупроводници, горните заземјени прстени обложени со Semicorex CVD SiC се подложени на прецизна обработка и строга проверка.

Површинска обработка: прецизноста на полирањето е Ra < 0,1µm; прецизноста на фино мелење е Ra > 0,1µm

Прецизноста на обработката е контролирана во рамките на ≤ 0,03 mm

Проверка на квалитет:

Полукорекс цврстите CVD SiC прстени се предмет на ICP-MS (индуктивно поврзана масена спектрометрија на плазма).