Цевка за дифузна печка

Цевката на дифузната печка обично е направена од кварц со висока чистота или SiC, коишто покажуваат исклучителна термичка стабилност и отпорност на хемиски реакции. Ова е важно бидејќи цевката на дифузната печка не смее да внесува нечистотии во полупроводничките материјали што се обработуваат. Дури и најмалите нечистотии можат да имаат значителни штетни ефекти врз перформансите и сигурноста на фабрикуваните полупроводнички уреди.

Материјалите што се користат при изградбата на цевката на дифузната печка се избрани поради нивната висока чистота за да се спречи контаминација на полупроводничките наполитанки за време на обработката. Цевката на дифузната печка издржува екстремни температури кои се среќаваат при обработката со полупроводници без да се деформира или да се загрози нејзиниот структурен интегритет. Ова обезбедува постојани и сигурни перформанси во текот на подолги периоди на работа. Покрај топлинската стабилност, цевката на дифузната печка, исто така, покажува отпорност на корозивни ефекти на хемикалиите и гасовите што се користат во полупроводничката обработка. Ова спречува деградација на цевката со текот на времето и обезбедува долговечност.

Некои цевки од дифузните печки може да имаат облоги направени од специјализирани материјали за дополнително да ги подобрат нивните перформанси или да обезбедат дополнителна заштита од контаминација или хемиски реакции. Овие облоги се внимателно избрани за да ги надополнат својствата на материјалот на цевката и специфичните барања на процесот на производство на полупроводници.