Влезни прстени на MOCVD

Семикорекс е голем производител и снабдувач на графит обложен со силикон карбид во Кина. Нашите MOCVD влезни прстени имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex обезбедува влезни прстени MOCVD кои се користат за таложење и обработка на нафора, што е навистина стабилно за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. Нашите влезни прстени MOCVD имаат графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, која обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи-слој и издржлива хемиска отпорност. Финиот SiC кристален премаз обезбедува чиста, мазна површина, критична за ракување, бидејќи беспрекорните наполитанки контактираат со сензорот на многу точки низ целата нивна површина.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, исплатливи MOCVD влезни прстени, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на влезните прстени на MOCVD

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300