SiC Фокус прстени

Напредните прстени за фокусирање на SiC со висока чистота Semicorex се изградени за да издржат екстремни средини во коморите за плазма офорт (или сува ограда). Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex обезбедува SiC Focus Rings се навистина стабилни за RTA, RTP или грубо хемиско чистење. SiC Focus Rings или рабните прстени се дизајнирани да ја подобрат униформноста на офорт околу работ или периметарот на обландата. Минимизирајте ја контаминацијата и непланираното одржување со компоненти со висока чистота дизајнирани за строгоста на обработката на плазма офорт. Нашите SiC Фокус прстени со SiC облога се густа, отпорна на абење обвивка од силициум карбид (SiC). Има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD).

Параметри на прстените со фокус на SiC

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување од 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC Focus Rings

- CVD премази од силикон карбид за подобрување на работниот век.

- Топлинска изолација изработена од прочистен цврст јаглерод со високи перформанси.

- Композитен грејач и плоча од јаглерод/јаглерод.- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Графит со висока чистота и слој SiC за отпорност на дупки и поголем животен век