Semicorex End Effector за ракување со нафора се димензионално прецизни и термички стабилни за обработка на нафора. Ние сме производител и снабдувач на елементи за обложување силициум карбид многу години. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат поголем дел од европскиот и американскиот пазар. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Semicorex End Effector за ракување со наполитанки се димензионално прецизни и термички стабилни, додека имаат мазна, отпорна на абење CVD SiC слој за безбедно ракување со наполитанки без оштетување на уредите или производство на контаминација со честички, што може да ги премести полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите прецизно и ефикасно. Нашиот краен ефектор за ракување со нафора со висока чистота на силициум карбид (SiC) обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и термичка униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи, и издржлива хемиска отпорност.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашиот краен ефектор за ракување со нафора има ценовна предност и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Параметри на краен ефектор за ракување со нафора
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на краен ефектор за ракување со нафора
SiC слој со висока чистота користен CVD метод
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.