Влезен прстен за гас за полупроводничка опрема

Semicorex е голем производител и снабдувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашиот прстен за влез на гас за полупроводничка опрема има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Семикорекс влезниот прстен за гас за полупроводничка опрема е обложен со SiC, што е густа, отпорна на абење облога од силициум карбид (SiC). Има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD).

Нашиот прстен за влез на гас за полупроводничка опрема е дизајниран да постигне најдобра шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.

Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот влезен прстен за гас за полупроводничка опрема.

Параметри на влезниот прстен за гас за полупроводничка опрема

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300