Хоризонтални чамци од силикон карбид

Полукорекс хоризонталночамци од силициум карбидсе интегрално формирани со помош на технологија за 3D печатење, а потоа фабрикувани преку синтерување на висока температура. Наменски изградени да одговараат на различни големини на хоризонтални печки со висока температура, овие компоненти се широко применети за цврсто обезбедување на задржување на нафора во критичните процеси на производство на полупроводници на високи температури, вклучувајќи дифузија, оксидација и хемиско таложење на пареа.

Физичко-хемиски својства на силициум карбид

Предностите на хоризонталниот брод од силициум карбид Semicorexs

1.Стабилна поддршка и позиција

Неспоредливата цврстина и цврстина на материјалот им даваат на Semicorex хоризонталните силициум карбидни чамци одличен потпорен капацитет, што им овозможува стабилно да носат повеќе наполитанки истовремено. Преку прецизна обработка со слот, хоризонталните чамци од силициум карбид Semicorex можат цврсто да ги фиксираат и безбедно да ги држат полупроводничките наполитанки. Рамномерно распоредената структура на слотот гарантира дека наполитанките одржуваат фиксна положба во текот на целиот циклус на обработка, со што се гарантира конзистентноста и прецизноста на процесите на производство на полупроводници.

2. Компатибилност со сложени оперативни услови

Благодарение на нивната супериорна отпорност на висока температура и отпорност на корозија, чамците со хоризонтален силициум карбид Semicorex се способни да издржат ригорозни работни средини, како што се атмосфери со висока температура на кислород, азот или водород хлорид со ниска концентрација. Овие исклучителни својства на материјалот можат ефикасно да ја спречат корозијата и оштетувањата предизвикани од корозивни гасови со висока температура, кои во голема мера го продолжуваат работниот век на чамците.

3. Исклучителни перформанси за чистота

Различни од конвенционалните графитни чамци обложени со силициум карбид, чамците Semicorex хоризонтални силициум карбид се направени од полупроводничка класа, со висока чистотасилициум карбид(99,999%) со ултра ниска содржина на нечистотии. Овој врвен избор на материјали го елиминира ризикот од испуштање на загадувачи или лупење на облогата, дури и кога е изложен на високи температури и сурови корозивни средини. Дополнително, секој од нашите чамци со силициум карбид е подложен на строги процеси на чистење со ултразвук пред вакуумското пакување, што гарантира усогласеност со стандардите за чистота што ги бараат напредните процеси на производство на полупроводници.