Микропорозен sic chuck

Semicorex Microporous Sic Chuck е најсовремена вакуумска нафора на Чак, дизајниран за прецизно ракување со нафора во апликации за производство на полупроводници. Делува како суштински дел од изборот, држењето и транспортот на WAFT низ различните фази на обработка на нафта што вклучува чистење, гравирање, таложење и литографија. Овој нафора Чак гарантира одличен зафат и стабилност со резултат дека нафтата ќе се одржи безбедно за време на сложените операции.

Semicorex Microporous Sic Chuck има микропорозна структура на површината; Ова е подготвено од силикон карбид (Sic) со висок квалитет и обезбедува одлична термичка стабилност, хемиска отпорност и долгорочна издржливост. Овозможува униформа сила на вшмукување низ целата површина на нафора, минимизирајќи го оштетувањето на нафтата, истовремено обезбедувајќи сигурно ракување во текот на циклусот на обработка. Основните материјали што се нудат вклучуваат не'рѓосувачки челик SUS430, алуминиумска легура 6061, густа керамика на алумина, гранит и силиконски карбид керамика.

Карактеристики и придобивки

Микропорозна структура на површината: Sic Chuck е дизајниран со микропорозна површина, подобрувајќи ја ефикасноста на апсорпцијата на вакуум. Ова осигурува дека дури и деликатните нафора се безбедно држени без да предизвикаат нарушување или оштетување.

Разновидност на материјалот: Основниот материјал Чак е прилагодлив за да одговара на специфични потреби за процеси:

• SUS430 не'рѓосувачки челик: нуди добра отпорност на корозија по прифатлива цена, идеален за стандардни апликации.
• Алуминиумска легура 6061: Лесен со висока топлинска спроводливост, нудејќи одлична дисипација на топлина за апликации за кои е потребна стабилност на висока температура.
• Густа алумина керамика (99% AL2O3): обезбедува исклучителна електрична изолација и отпорност на висока температура, погодна за апликации со висока прецизност во производството на полупроводници.
• Гранит: Познат по своите извонредни механички својства, гранит нуди одлично амортизирање на вибрации, што го прави идеален за ракување со нафта со голема прецизност каде што е неопходна механичка стабилност.
• Силиконски карбид керамика: Крајниот избор за висока термичка спроводливост и отпорност на термички шок, обезбедувајќи долготрајни перформанси во барањата на полупроводнички средини.

Супериорна точност на рамнотеност: Чак има исклучителна рамност, неопходна за прецизност за ракување со нафта. Точноста на плошноста на различните основни материјали варира на следниов начин:

Алуминиумска легура 6061: Најдобро прилагодени за апликации за кои е потребна умерена рамност и лесна.

SUS430 не'рѓосувачки челик: нуди добра пловност, обично доволна за повеќето процеси на полупроводници.

Густа алумина (99% AL2O3): обезбедува најголема рамност, обезбедувајќи прецизно држење на нафта за време на чувствителни процеси.

Гранит и SIC керамика: И двата материјали нудат висока рамност и одлична механичка стабилност, обезбедувајќи супериорна точност за барање на ракување со нафта.

Прилагодлива тежина: Тежината на Чак зависи од избраниот основен материјал:

Алуминиумска легура 6061: Најлесниот материјал, идеален за процеси за кои е потребно чести репозиционирање или ракување.

Гранит: нуди умерена тежина, обезбедувајќи цврста стабилност без прекумерна маса.

Силиконска карбид и алумина керамика: Најтешките материјали, кои нудат супериорна сила и ригидност за барање апликации.

Висока прецизност и стабилност: Sic Chuck гарантира дека нафорите се ракуваат со најголема прецизност, нудејќи минимално менување на нафта или деформација за време на транспортот преку фази на обработка.

Апликации во производство на полупроводнициg

Микропорозниот SIC Chuck првенствено се користи во апликациите за ракување со нафта во рамките на процесите на изработка на полупроводници, вклучително и:

• Чистење на нафта: ефикасно држи нафора за време на процесите на чистење за да се обезбеди целосно и униформно чистење без да се предизвика штета.
• Оградување и литографија: Обезбедува стабилно држење на нафта за време на чекори за гравирање или литографија, обезбедувајќи прецизност и точност во моделирањето.
• Депонирање: Обезбедува нафора за време на таложење на физичко пареа (PVD) или таложење на хемиска пареа (CVD), клучно за облоги со тенки филмови во производството на полупроводници.
• Инспекција: Овозможува безбедно држење на нафта за време на фазите на инспекција, осигурувајќи дека нафтата останува совршено усогласена и стабилна за слики или мерења со висока резолуција.
• Пакување: Помага во процесот на пакување на нафора, обезбедувајќи безбедно ракување со нафора пред или по поделба на чипови.

Semicorex Microporous Sic Chuck е дизајниран со потребите на современото производство на полупроводници во умот. Без разлика дали ви требаат лесни материјали за лесно репозиционирање или потешки, поригидни материјали за прецизно ракување, нашиот чак може да се прилагоди за да одговара на вашите точни спецификации. Со низа опции за основни материјали, секоја нуди уникатни придобивки за специфични потреби за обработка, Semicorex испорачува производ кој комбинира прецизност, разноврсност и издржливост. Покрај тоа, микропорозната површина гарантира дека нафорите се чуваат безбедно и униформно, минимизирајќи го ризикот од оштетување и обезбедување на квалитетно ракување во секој процес.

За производителите на полупроводници кои бараат сигурни, прилагодливи и решенија за ракување со нафта со високи перформанси, Semicorex Microporous Sic Chuck нуди совршена рамнотежа на прецизност, материјална флексибилност и долготрајни перформанси. Со нашиот производ, можете да бидете сигурни дека вашиот процес на ракување со нафора ќе биде ефикасен, безбеден и многу точен.