Фокус прстен за обработка на плазма

Фокусниот прстен за обработка на плазма Semicorex е специјално дизајниран да ги задоволи високите барања за обработка на плазма офорт во индустријата за полупроводници. Нашите напредни компоненти обложени со силикон карбид со висока чистота се изградени да издржат екстремни средини и се погодни за употреба во различни апликации, вклучувајќи слоеви од силициум карбид и епитаксии полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Нашиот фокусен прстен за обработка на плазма е многу стабилен за RTA, RTP или грубо хемиско чистење, што ги прави идеален избор за употреба во комори за плазма офорт (или сува ограда). Дизајнирани да ја подобрат униформноста на офорт околу рабовите или периметарот на обландата, нашите фокусни прстени или рабните прстени се дизајнирани да ја минимизираат контаминацијата и непланираното одржување.

Нашата облога SiC е густа, отпорна на абење облога од силициум карбид со високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD). Ова осигурува дека нашите SiC Focus прстени имаат супериорен квалитет и издржливост, што ги прави сигурен избор за вашите потреби за обработка на плазма офорт.

Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот фокусен прстен за обработка на плазма.

Параметри на фокусниот прстен за обработка на плазма

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на фокусниот прстен за обработка на плазма

- CVD премази од силикон карбид за подобрување на работниот век.

- Топлинска изолација изработена од прочистен цврст јаглерод со високи перформанси.

- Композитен грејач и плоча од јаглерод/јаглерод. - И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Графит со висока чистота и слој SiC за отпорност на дупки и поголем животен век