Poly-Si дупчиња прстени

Во реакционата комора на напредната полупроводничка опрема за офорт најчесто се инсталираат поли-Si прстени со дупчиња. Тие работат синергистички со силиконските делови, вклучувајќи го и силиконотфокус прстени, силиконски надворешни прстени и силициумтуш кабини. Овие делови можат да создадат стабилна и оптимална средина за реакција за процесот на офорт, обезбедувајќи одличноофортпрецизност и конзистентност на процесот.

Функции на Semicorex поли-Si прстени со дупчиња

1. Семикорекс поли-Си прстените со дупчиња се опремени со повеќе рамномерно распоредени слотови кои служат како премини за гас, кои овозможуваат непречено испуштање на процесните гасови по реакцијата.

2. Семикорекс поли-Si прстените со дупчиња се способни да постигнат одлична контрола на плазмата, нудејќи сигурна заштита за комората за реакција на опремата за полупроводничка офорт.

3. Семикорекс поли-Si прстените со дупчиња можат да помогнат во прилагодувањето на електричното поле и притисокот во комората, со што се спречува нестабилноста да влијае на конзистентноста на процесот на офорт.

Избор на материјали со висок стандард

Семикорекс поли-Si прстените со дупчиња се произведени од висококвалитетен поликристален силикон со ниво на чистота од над 99,9999%, што им дава супериорни својства како што следува.

1. Ултра висока чистота и екстремно ниска содржина на нечистотии.

2. Исклучителна отпорност на корозија на плазмата.

3. Поволни електрични својства, со униформност на отпорот: RRG ≤ 5%, ниска резолуција. (<0,02), средна рез. (1–4) и висока резолуција. (70-90).

Производствени способности и контрола на квалитетот

Опремен со напредна опрема за обработка и искусен технички тим, Semicorex строго го контролира секој производствен процес и нуди висококвалитетни и добро усогласени прстени со поли-Si дупчиња на нашите ценети клиенти. Дополнително, Semicorex спроведува строга контрола врз мерењето на димензиите, тестирањето на отпорноста и визуелната проверка на готовите поли-Si прстени со дупчиња за да се осигури дека нема дефекти како што се чипови, гребнатини, пукнатини и дамки.