Порозен sic chuck

Semicorex Porous Sic Chuck е керамички дел што е собрано со прецизност за безбедно, ефикасно ракување со подлоги на нафта за апликации за полупроводници преку процесни чекори, како што се инспекција, тестирање и литографија. Чак е произведен од микро-порозен силиконски карбид керамика (SIC). SIC има механичка јачина, хемиска отпорност и својства на термичка стабилност потребни за врвни околини за производство на полупроводници.

Суштинска карактеристика на порозниот SIC Chuck е нејзината уникатна микроструктура, која покажува порозност од 35%-40%. Со порозноста на чистата цврсто контролирана, преостанатото дизајнирање овозможува вакуумско вшмукување да биде рамномерно распространето низ Чак, создавајќи постојана стабилна и не-контактна поддршка за типично деликатни подлоги на нафора: силикон или ГАН и други сложени полупроводници.  Режимот на вакуумско вшмукување избегнува и загадување на честички и механичко оштетување, а со тоа зачувување на интегритетот на нафтата за време на процесот.

Керамичкото тело на чак е првенствено висока чистота SIC, со друга керамика, како што е алумина (AL2O3), потенцијално користено за ограничен број функционални слоеви во зависност од апликацијата. Истражувањето и развојот на материјалот овозможуваат да се успее големината на порите и дистрибуцијата да се дизајнира сила на воздухот и одржувањето во зависност од големината на нафтата и условите на процесот. Ако е важно да се контролира вакуумот на потенки нафора, ќе се вклучи помала големина на порите. За побрзи стапки на проток каде што е соодветно, ќе се користи поголема големина на порите.

Порозните SIC чакови покажуваат варијација на бојата како резултат на променливите големини на пори, керамички композиции и услови за отпуштање. SIC Chucks имаат тенденција да бидат црни или темно сиви, бидејќи бојата на силиконскиот карбид е или сива или црна, сепак чаковите со голема содржина на алумина имаат тенденција да бидат надвор од бела боја. Варијантите во боја немаат никаков ефект врз перформансите на производот и ги претставуваат само инженерните својства што се создадени за специфични апликации за да се усогласат со специфичните потреби на клиентите.

Кај алатките за обработка на нафта со висока храна, термичката стабилност и хемиската инертност се двете најважни карактеристики. Силиконскиот карбид обезбедува одличен отпор на гасови од корозија и термички велосипедизам. Порозниот Sic Chuck успешно работи во вакуумски комори и алатки за плазма за еч, и продолжува да се одвива добро со брзо менување на температурите. Нивната способност да ја одржат димензионалната стабилност на Чак гарантира дека нафтата останува на истата локација, иако барањата за точност можат да бидат под под-микрон во зависност од процесот што придонесува за димензионалниот стабилизиран обезбедува точност.

Полуирксните порозни SIC Chucks се прават со употреба на овластени процедури за формирање и топење кои обезбедуваат униформа порозност, висока флексирална јачина и мала термичка експанзија. Секоја чак е прегледана за структура на пори, рамка и вакуумски перформанси за да се обезбеди сигурен и повторлив производ. Прилагодените дизајни се исто така достапни за да се сместат специфични големини на нафта и барањата за интеграција на системот, како што се канали за проток на гас од задната страна или карактеристики за монтирање.

Како заклучок, порозниот SIC Chuck е систем за поддршка на подлогата со голема сигурност, кој е внимателно дизајниран да работи во врска со барањата за прецизна обработка на нафта. Со голема способност за одржување на вакуум, прилагодлива структура на порите и извонредна стабилност на материјалот, тоа е неопходен производ во денешните линии за измислување на полупроводници.