Порозни SiC вакуум чаши

Семикорекс порозен SiCвакуум чашисе незаменливите компоненти, кои можат да се користат во напредните процеси на производство на полупроводници, како што се разредување на нафора, сечење на коцки, мелење, полирање, фотолитографија, офорт. Нивната платформа за адсорпција е изградена со порозна керамичка плоча SiC со бројни рамномерно распоредени пори во микрони. Со конзистентен дијаметар на порите и исклучителна брзина на пробивање, порозните SiC вакуум чаши Semicorex обезбедуваат мазна патека за гас за вакуумска евакуација. За време на работата, стабилен и рамномерен негативен притисок се генерира помеѓу чак и нафора, што овозможува високоефикасно вакуумско стегање и ослободување на полупроводнички наполитанки.

Предности на порозните SiC вакуум чакови Semicorex 

1. Исклучителна прецизност на обработка

Полупроводничките обланди обработени во напредното производство на полупроводници се исклучително тенки, па дури и мало свиткување, вибрации или нерамномерно локално напрегање може да доведат до кршење, искривување и намалена прецизност во критичните процеси како што е литографијата. Семикорекспорозен SiCвакуумските чаши се обработуваат преку високопрецизно мелење и полирање, со што се постигнува совршена грубост на површината од Ra ~ 0,1 μm. Ова им овозможува на Semicorex порозните SiC вакуумски капачиња да обезбедат оптимизирана работна површина за високопрецизно производство на полупроводници.

2. Висока чистота и висока отпорност на корозија

За целосно исполнување на строгите стандарди за чистота на полупроводниците, Semicorex произведува порозни SiC вакуумски чаши со суровини од силициум карбид со висока чистота преку синтерување со висока температура. Ова осигурува дека чаковите се ослободени од фрлање честички и метална контаминација што може да се мигрира. Имајќи корист од одличната хемиска стабилност на SiC, порозните SiC вакуум чаки Semicorex се способни да ги издржат суровите средини на корозија и да не генерираат дополнителни нуспроизводи, што ги прави многу прилагодени за висококвалитетни процеси на производство на чисти полупроводници.

3. Одлична издржливост и долгорочна стабилност

Вакуумските чаки што се користат во производните линии мора да издржат илјадници циклуси на адсорпција и ослободување, како и долготрајни температурни флуктуации. Ова наметнува екстремно високи барања за перформансите на материјалот на вакуумските чаки. Порозните SiC вакуум чаши Semicorex имаат извонредна цврстина на материјалот и отпорност на абење, со стабилно термичко проширување. Тие не покажуваат лази или деградација на перформансите при високи температури, што значително го продолжува нивниот век на употреба и ја намалува фреквенцијата на одржување и замена на компонентите.