Ефектор на роботи

Semicorex е водечки независен производител на графит обложен со силикон карбид, прецизен машински графит со висока чистота, фокусирајќи се на графит обложен со силикон карбид, силикон карбид керамика, MOCVP области на производство на полупроводници. Нашиот Robot End Effector има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Robot End Effector е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите. Robot End Effector мора да биде димензионално прецизен и термички стабилен, а истовремено да има мазна површина отпорна на абење за безбедно ракување со наполитанки без да ги оштетува уредите или да создава контаминација со честички. Нашиот Robot End Effector со обвивка од силициум карбид (SiC) со висока чистота обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи-слој и издржлива хемиска отпорност.

Параметри на Robot End Effector

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300