Полупроводнички чак со нафора

Семикорекс напредните компоненти обложени со силикон карбид со висока чистота се изградени за да издржат екстремни средини во процесот на ракување со нафора. Нашиот полупроводнички чак со нафора има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Семикорекс ултра-рамниот полупроводнички чак за нафора е обложен со висока чистота SiC кој се користи во процесот на ракување со нафора. Полупроводнички чак за нафора од опрема MOCVD Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремно опкружување и го подобрува управувањето со приносот за обработка на полупроводнички нафора. Конфигурациите со низок контакт на површината го минимизираат ризикот од честички од задната страна за чувствителни апликации.

Параметри на полупроводнички чак со нафора

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300