Брод SiC

Чамците Semicorex SiC се прецизно изработени од SiC керамика со висока чистота, материјал кој се прославува по својата неспоредлива термичка стабилност, исклучителна механичка сила и непоколеблива хемиска инертност. Овие квалитети го прават совршен избор за ригорозните услови на производство на полупроводници.

Бродовите SiC можат да се пофалат со неспоредлива механичка сила и издржливост, поради цврстината на материјалот и исклучителната отпорност на абење. Ова им овозможува да ја издржат захтевната природа на средини за производство на полупроводници со висока пропусност без да подлегнат на постепеното абење и кинење. За разлика од другите материјали, SiC го одржува својот структурен интегритет со текот на времето, значително намалувајќи ја потребата за чести замени и минимизирајќи го времето на застој во производните операции - што на крајот доведува до значителни заштеди на трошоците за производителите на полупроводници.

Хемиската инертност на SiC дополнително ја зацврстува неговата соодветност за полупроводнички процеси со тоа што го прави високо отпорен на хемиски напад од реактивни гасови и најчесто користените материјали како што се хлорот и флуорот. Овој робустен отпор осигурува дека чамците SiC не ги контаминираат наполитанките за време на обработката, а со тоа ја одржуваат чистотата и квалитетот на полупроводничките уреди што се произведуваат. За процеси кои бараат уште повисоко ниво на хемиска отпорност, SiC чамците може да се обложат со дополнителен слој на SiC, обезбедувајќи дополнителна бариера против хемиски напад и подигање на површината на чамецот за да се намали ризикот од контаминација со честички.

Високата чистота на SiC керамиката што се користи во овие чамци е критична, бидејќи производството на полупроводници бара материјали со минимални нечистотии. Дури и трагите на загадувачи може да ги нарушат електричните својства на наполитанките и да резултираат со дефекти на финалните уреди. Бродовите SiC се изработени од SiC керамика со ултра висока чистота за да се осигура дека тие не внесуваат нечистотии во околината на процесот, дури и при покачени температури и реактивни услови типични за производство на полупроводници. Оваа чистота ја зацврстува доверливоста на SiC Boats за критичните чекори на процесот.

Компатибилноста на SiC Boats со различна полупроводничка опрема е најважна. Разновидноста на SiC овозможува прецизно обработување за да одговара на специфичните димензии и конфигурации што ги бараат различните типови на полупроводнички печки и реактори, што ги прави погодни за широк опсег на апликации, од мали операции за истражување и развој до производствени линии со големи размери. Дополнително, исклучителната топлинска спроводливост и својствата на дисипација на топлина на материјалот придонесуваат за поефикасна контрола на температурата за време на обработката, дополнително зголемувајќи ги перформансите и издашноста на полупроводничките уреди.