SiC конзола лопатка

Семикорекс SiC (силициум карбид) конзолен лопатка е клучна компонента што се користи во процесите на производство на полупроводници, особено во дифузните или LPCVD (низок притисок хемиско таложење на пареа) за време на процеси како дифузија и RTP (брза термичка обработка). Таа служи за поддршка и транспорт на наполитанки во процесната цевка на овие печки.

Semicorex SiC Cantilever Paddle е првенствено составен од силициум карбид, робустен и термички стабилен материјал познат по неговата отпорност на високи температури и одличните механички својства. SiC е избран поради неговата способност да ги издржи суровите услови кои се среќаваат во средини на процеси со висока температура на полупроводничките печки. Дизајнот на SiC Contilever Paddle му овозможува да се протега во процесната цевка на печката додека е цврсто закотвен на едниот крај надвор од цевката. Овој дизајн обезбедува стабилност и поддршка за обландите што се обработуваат, притоа минимизирајќи ги пречките во топлинската средина во печката.

SiC Cantilever Paddle треба безбедно да носи полупроводнички наполитанки во процесната цевка за време на различни процеси на висока температура како што се дифузија и RTP. Неговата робусна конструкција гарантира дека може да ги издржи екстремните температури и хемиските средини кои се среќаваат за време на овие процеси без деградација или дефект. SiC Contilever Paddles се дизајнирани да бидат компатибилни со широк опсег на големини и форми на полупроводнички обланди кои вообичаено се користат во индустријата. Тие често се приспособливи за да одговараат на специфичните конфигурации на печката и барањата за процесот.