Службениците на Semicorex SIC Cantilever се лопатки со силиконски карбид со високи перформанси, кои се користат во опрема за термичка обработка на полупроводници, дизајнирани за стабилно ракување со нафора во околини со висока температура. Избор на Semicorex значи избор на материјали со висока чистота, одлична термичка стабилност и технологија за прецизно производство водечка во индустријата за да се обезбеди дека секој ваш критичен процес е стабилен и сигурен.*
Службениците на Semicorex Sic Contilever се компоненти со високи перформанси кои се дизајнирани прецизно за ракување со нафта и транспорт на нафта во опрема за термичка обработка на полупроводници (LPCVD, PECVD, оксидација и печки за дифузија). Овие лопатки за конзола обезбедуваат платформа за нафта и неопходна форма на поддршка што обезбедува стабилен и сигурен транспорт на кршливи нафори преку груби процеси на висока температура (честопати надминува 1200 ° C). Силите на конзолите се произведени од силиконски карбид со висока чистота (SIC) што обезбедува механичка издржливост, термичка стабилност и антикорозивни својства за околината за измислување на полупроводници.
Силикон карбид е супер-премиум керамички материјал со одлична топлинска спроводливост, ниска термичка експанзија и можност за изведување на сигурност во хемиски непријателски опкружувања. Силикон карбид во лопатки од конзола може да помогне во намалувањето на термичкото искривување
и движење кое ги одржува нафорите рамно и во нивната номинална позиција за обработка. Топлинската стабилност на нафтата во контекст на лопатките на конзолите е важна за да се минимизираат проблемите со загадување на честички и механичко движење, особено при производство на напредни уреди за јазол. Овие проблеми можат да резултираат во загуба на принос или скапа преработка и замена на нафорите.
Монолитната форма на лопатките SIC Cantilever ја подобрува механичката робусност и термичката униформност, додека ги елиминираат зглобовите и слабите точки што обично можат да постојат во композитите. Понатаму, површинската завршница на лопатките е специјално контролирана, и генерално е полирана до близок квалитет на огледало за да се минимизира генерирањето на честички и е во согласност со класата на чистота.
Во процеси на дифузија и оксидација кои вклучуваат кислород, пареа и други реактивни гасови; Конвенционалните материјали може да се стопат или да се деформираат со текот на времето. Својството на својствената хемиска инертен имот на SIC обезбедува лопатките да не ги надминуваат, или да кородираат и да воведат загадување во процесот заради употреба на нестабилни материјали, придонесувајќи за постабилен процес и сигурни резултати. Структурниот интегритет на лопатките на конзолите на SIC останува стабилен и покрај брзото возење велосипед на греење и ладење. Затоа, тие нудат долг живот на оперативната услуга со значително намалено одржување или застој за замена на дел.
Покрај тоа, намалената маса и мала тежина на лопатките на SIC овозможуваат побрз термички одговор; Притоа, дозволувајќи побрзо време на термичка рампа и ладење, придонесувајќи за зголемена продуктивност и енергетска ефикасност, сите главни метрика во конкурентскиот пејзаж на производство на полупроводници.
Сик -кантилеверските лопатки можат да се обезбедат во најразлични конфигурации и големини, дизајнирани и произведени за да сместат разни дизајни на печки и големини на нафта кои се движат од 100 мм до 300 мм и поголеми. ОЕМ и интеграторите на опрема ја ценат конзистентноста и веродостојноста на лопатките SIC со текот на времето, за распоредувањето и во процесите на предната и задната страна.
Semicorex нуди врвни лопатки со конзола со тесна контрола врз материјалната чистота, микроструктурата и димензионалните толеранции. Нашите напредни процесни можности, заедно со нашето знаење за полупроводничка термичка динамика, ни овозможуваат да произведуваме лопатки со овие атрибути кои ги исполнуваат или надминуваат индустриските стандарди за стабилност, чистота и издржливост. Кога треба да биде исправно и сигурен, Semicorex е местото за да се обратите за квалитетни компоненти на SIC.