Сик керамички чамци

Керамички чамци Semicorex SIC се најнапредни носачи специјално дизајнирани за безбедно транспорт, складирање и обработка на полупроводнички нафори во најсложените хемиски и термички екстремни околини. Индустријата за полупроводници брзо усвои нови стандарди за изведба на кои им се потребни на керамички чамци со сигурност, доверливо и без загадување да ги постигнат нетолерантните и критичните барања за современите процеси на изработка на нафта.

Силна термичка стабилност и сила

Дефинирачкиот атрибут на керамичките чамци Sic е неговата многу висока термичка стабилност. SIC керамичките чамци можат да издржат температура над 1600 ° C без да ја изгубат нивната форма или структура за време на агресивните процеси на термички велосипедизам. Поради ултра-нискиот коефициент на термичка експанзија, керамичките чамци Sic се помалку склони кон искривување и пукање, овозможувајќи тесни толеранции и целокупна безбедност на нафта за време на ракувањето под тврди услови.

Висока чистота и хемиска отпорност

Сик керамички чамци се фабрикувани од ултра-висока чистота силиконска карбид. Керамичките чамци SIC се исто така многу отпорни на хемиска деградација, корозивна и еродирачка плазма. Инертната природа на керамичките чамци Sic значи процеси на корозивни гасови, реактивни околини, кисели услови не би формирале или нема загадување од бродот или ништо растворливо за да му наштетат на работниот процес. Не-контаминативната површина на керамичките чамци SIC не овозможува никаква генерација на честички или исцедување на јон, така што површината на нафтата не е загрозена од нечистотии што ги попречуваат перформансите или приносите на уредот.

Прецизно инженерство за безбедно и безбедно ракување со нафта

Керамички чамци SIC се произведуваат во тесни толеранции, дозволувајќи им да се справат со нафора со различни дијаметри, вклучувајќи 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм и многу повеќе. Структурниот дизајн на SIC чамци обезбедува одлична пловност, паралелизам и униформа големина на слот за одржување на соодветна ориентација на нафора и заштита на рабовите на нафора при пренесување во друг процес или алатка. Сите чамци на SIC можат да бидат дизајнирани со сопствени димензии за да одговараат на поставената алатка или да ги исполнат сите спецификации за автоматизација.

Долг живот и поекономичен

SIC ги заменува традиционалните материјали (кварц, алумина) со значително подобрена механичка јачина, цврстина на фрактура и отпорност на термички шок. Ова ниво на издржливост се преведува на подолг живот пред „неуспехот“, значително помалку замени за време на работењето и пониската вкупна цена на сопственост. Конзистентноста во перформансите од издржливоста на SIC ќе го намали времето и ќе го забрза протокот на линиите за производство на полупроводници.

Отворени апликации во процесите на полупроводници

Сик керамичките чамци се користат во предните процеси на полупроводници како што се:

Таложење на LPCVD и PECVD

Термичка оксидација

Јонска имплантација

Annealing и дифузија

Чистење на нафта и хемиска обработка

Керамичките рачки на SIC имаат компатибилни апликации за обработка и во атмосферата и во вакуумските процеси, што го прави идеален избор за леарници и фабрики кои бараат да го минимизираат и намалат ризикот од загадување, додека ја подобруваат продуктивноста.