SiC керамички вакуум чак

Додека се стремат кон Муровиот закон, на постројките за производство на полупроводници им требаат платформи за држење на нафора кои можат да издржат тешки механички сили и да останат рамни, без испакнатини или падови. Керамичкиот вакуум чак Semicorex SiC обезбедува совршено решение за замена на традиционалните чаки од алумина и нерѓосувачки челик; тие ќе ја обезбедат потребната вкочанетост кон тежината и нема да реагираат хемиски, и двете се неопходни за обработка на наполитанки од 300 mm и пошироко.

1. Материјални предности со користење на синтеруван густ силициум карбид (SSiC).

Основната компонента на нашатаSiC керамикаВакуум чакот е синтеруванСилициум карбид, материјал дефиниран со неговата многу силна ковалентна врска. Нашиот SSiC не е порозен или поврзан со реакција; Наместо тоа, тој се синтерува на > 2000 степени Целзиусови за да се постигне речиси теоретска густина (> 3,10 g/cm3) - едноставно кажано, тој е поцврст од другите материјали што се користат за производство на вакуумски чаки.

Исклучителна механичка вкочанетост.

Young's Modulus of SSiC е приближно 420 GPa, што го прави многу поцврст од алумина (приближно 380 GPa). Поради овој висок модул на еластичност, нашите чаши ќе останат стабилни и при вакуум и во услови на ротација со голема брзина и нема да се деформираат; оттука, наполитанките нема да „чипс од компир“ (т.е., да се искриват) и секогаш ќе воспоставуваат униформен контакт низ целата нивна површина.

Термичка стабилност и низок CTE

Во процесите кои вклучуваат високо-интензивна УВ светлина или топлина предизвикана од триење, термичката експанзија може да доведе до грешки во преклопувањето. Нашите чаки за SiC поседуваат низок коефициент на топлинска експанзија (CTE) од 4,0 x 10^{-6}/K, поврзан со висока топлинска спроводливост (>120W/m·K). Оваа комбинација му овозможува на чакот брзо да ја исфрла топлината, одржувајќи ја димензионалната стабилност за време на долготрајните литографија или метролошки циклуси.

2. Прецизно инженерство и дизајн

Како што е видливо на сликата на производот, нашите вакуумски куки имаат сложена мрежа од концентрични и радијални вакуумски канали. Овие се обработени со CNC со екстремна прецизност за да се обезбеди рамномерно вшмукување низ обландата, минимизирајќи ги локализираните точки на стрес што може да доведат до кршење на нафората.

Под-микронска плошност: Ние користиме напредни техники за мелење и преклопување на дијаманти за да постигнеме глобална плошност од <1μm. Ова е критично за одржување на фокусната длабочина потребна во напредните литграфски јазли.

Лесна тежина (опционално): За да се приспособат фазите со високо забрзување во степери и скенери, нудиме внатрешни структури со „лесни“ саќе што ја намалуваат масата без да ја загрозат структурната цврстина.

Засеци за порамнување на периметарот: интегрираните засеци овозможуваат беспрекорна интеграција со роботски крајни ефектори и сензори за порамнување во алатката за процесирање.

3. Критични апликации во синџирот на снабдување со полупроводници

Нашите SiC керамички вакуум чакови се индустриски стандард за:

Разредување и мелење нафора (CMP): Обезбедување на цврста потпора неопходна за разредување на наполитанки до ниво на микрон, без чипкање на рабовите.

Литографија (Steppers/Scanners): Дејствува како ултра рамна „фаза“ која обезбедува прецизно ласерско фокусирање за јазли под 7nm.

Метрологија и AOI: Осигурајте се дека обландите се совршено рамни за проверка со висока резолуција и мапирање на дефекти.

Обланда на коцки: Обезбедување стабилно вшмукување за време на механички или ласерски операции со голема брзина.

Во Semicorex, разбираме дека вакуумската чак е добра само како и нејзиниот интегритет на површината. Секој чак се подложува на повеќефазен процес на контрола на квалитетот:

Ласерска интерферометрија: За да се потврди плошноста на целиот дијаметар.

Тестирање на истекување на хелиум: Обезбедување на вакуумските канали да се совршено запечатени и ефикасни.

Чистење на Cleanroom: Обработено во средини од класа 100 за да се обезбеди нулта метална или органска контаминација.

Нашиот инженерски тим тесно соработува со производителите на OEM алатки за да ги приспособат шаблоните, димензиите и интерфејсите за монтирање. Со избирање на Semicorex, вие инвестирате во компонента што го намалува времето на застој, ја подобрува прецизноста на преклопувањето и ги намалува вкупните трошоци на сопственост преку екстремна издржливост.