Semicorex SiC керамичките вакуумски чаки се прецизни уреди за адсорпција на вакуум произведени од керамика со силициум карбид, кои можат полупроводничките наполитанки да се прецизно и стабилно позиционирани на одредени позиции за време на обработката и проверката. Користењето на керамичките вакуумски чаки Semicorex SiC може да помогне да се подобрат приносите на производството на полупроводници, да се подобрат перформансите на полупроводничките уреди и да се намалат вкупните трошоци за производство.
Прецизно дизајнираните микро-дупки се рамномерно распоредени низ површината на SiC керамичките вакуумски чаки, што овозможува сигурно поврзување со надворешната вакуумска опрема. За време на работата, вакуумската пумпа се активира за да влече воздух низ дупките, создавајќи средина со негативен притисок помеѓу полупроводничката нафора и вакуумската чак. Затоа, ова овозможува нафората рамномерно и цврсто да се држи на површината на вакум чак.
СемикорексSiC керамички вакуум чашивнимателно изберете силициум карбид со висока чистота како суровина. Строгата контрола на чистотата на материјалот на Semicorex ефикасно ја спречува контаминацијата на нафора предизвикана од нечистотии за време на работата, со што се задоволуваат растечките барања за чистота на производството и принос.
Површината на керамичките вакуумски чаки Semicorex SiC се подложува на полирање со огледало, а нивната плошност се контролира на 0,3-0,5 μm. Оваа екстремна контрола на плошноста може да овозможи оптимален ефект на контакт, што значително го намалува ризикот од гребнатини на нафора предизвикани од груби контактни површини. Секоја микро-дупка и жлеб во вакуумските капаци се прецизно обработени, со што се обезбедува стабилен и униформен ефект на адсорпција за време на работата.
Semicorex им нуди на нашите ценети клиенти услуги за прилагодување, нудејќи различни опции за големина на SiC керамички вакуумски чаки, како што се 6-инчни, 8-инчи, 12-инчи. Можеме да ги приспособиме димензионалните толеранции, големината на порите, плошноста и грубоста за да ги исполниме барањата на клиентите, обезбедувајќи совршено совпаѓање со вашата опрема за обработка и проверка на полупроводници.
СемикорексSiC керамикавакуум чаковите се формираат со изостатско притискање и потоа се синтеруваат на висока температура. По оваа технологија за специјални процеси, керамичките вакуумски куки Semicorex SiC поседуваат повеќекратни одлични перформанси, како што се лесни, висока цврстина, силна отпорност на абење и низок коефициент на термичка експанзија. Овие својства им овозможуваат на Semicorex SiC керамичките вакуумски чаки постојано да работат во предизвикувачки услови при ракување и обработка на полупроводнички нафора.