Керамичките чамци со нафора Semicorex SiC се решенија за силициум карбид со високи перформанси, дизајнирани за безбедно поддршка и транспорт на наполитанки за време на најсовременото производство на полупроводници. Благодарение на овие одлични предности, тие се добро прилагодени за прецизни процеси на производство на полупроводници на висока температура како што се процесите на оксидација, дифузија и CVD.
Изборот на доверливи и издржливи чамци со нафора е од клучно значење за да се обезбеди стабилност на процесот и принос на нафора за време на работни услови на висока температура и висока корозија. СемикорексSiC керамикачамците со нафора се идеален избор за овие цели со обработка на нивните повеќекратни предности, вклучувајќи висока интеграција, висока стабилност, отпорност на високи температури, отпорност на абење и долг работен век.
Контролата на квалитетот на Semicorex надSiC керамички чамци со нафоразапочнува со нивниот ригорозен избор на суровини. Керамичките чамци со нафора Semicorex SiC се направени од прав од силициум карбид на ниво на полупроводник со висока чистота преку синтерување со висока температура. Благодарение на нивната врвна суровина, тие ги обезбедуваат следните исклучителни перформанси.
1. Ултра-висока чистота, ниска метална нечистотија контаминација.
2. Густа материјална структура, намалувајќи ја контаминацијата на нафора предизвикана од пролевање на честички.
3. Одлична отпорност на корозија против плазма, силни киселини и алкалии.
4. Висока цврстина и механичка сила, отпорен на абење и гребење.
5. Извонредна термичка стабилност, без деформација или лази на 1250°C.
6. Одлична отпорност на термички шок, намалувајќи го термичкиот стрес од брзите температурни промени.
Керамичките чамци со нафора Semicorex SiC добро се совпаѓаат со многу водечки OEM за печки во индустријата, како што се TEL, ASM и Kokusai Electric. Semicorex нуди прилагодени решенија за нашите ценети клиенти, поддржувајќи приспособување на димензиите на чамецот со обланда, чекорот на отворот, длабочината на отворот, профилот на отворот (облик V или U-форма) и соодветните агли за да се овозможи совршена компатибилност со вашата опрема и барања за обработка.
Поддржани со напредна опрема за обработка и зрели технологии за обработка, Semicorex се способни строго да ги контролираат димензиите и толеранциите на нивните SiC керамички нафора чамци. Оваа димензионална контрола со висока прецизност обезбедува полупроводничките наполитанки цврсто поставени за време на работењето, што ефикасно го спречува оштетувањето на обландите што произлегуваат од лизгање или навалување. По прецизната обработка, рамномерно распоредените слотови на чамците со керамички нафора SiC може да гарантираат дека секоја обланда се загрева и рамномерно реагира за време на процесите на оксидација, дифузија и CVD, што во голема мера придонесува за подобрување на конзистентноста на процесот и изработката на полупроводнички чипови.