Дискови за пренасочување на гас обложени со SiC

Станувајќи како одличен пример за напредни материјали од полупроводничка класа и најсовремени производствени технологии, Semicorexобложена со SiCДисковите за пренасочување на гас се прецизно произведени од графит со висока чистота како нивни матрици со густа облога на SiC преку хемиско таложење на пареа. Дисковите за пренасочување на гас се главно дизајнирани да го дистрибуираат реакциониот гас рамномерно низ површината на обландата за да се обезбедат целосни реакции за време на обработката, со што се олеснува формирањето на конзистентни и униформни еднокристални тенки филмови.

Предностите на дисковите за пренасочување на гас обложени со Semicorex SiC

1. Висока материјална чистота

Semicorex поддржува строги стандарди за квалитет на производите, почнувајќи од внимателен избор на материјали. Благодарение на оваа строга контрола на чистотата на суровината, дисковите за пренасочување на гас обложени со Semicorex SiC обезбедуваат ниска содржина на нечистотии и се фалат со извонредна чистота. Ова може значително да спречи метални јони и други загадувачи да ги загрозат полупроводничките епитаксијални процеси.

2.Супериорна термичка стабилност

Од компонентите што се користат во овие системи се бара да имаат исклучителна термичка стабилност бидејќи полупроводничката епитаксијална опрема обично работи на температури над 1400°C. Оваа исклучителна термичка стабилност може да обезбеди дисковите за пренасочување на гас обложени со Semicorex SiC да ги издржат предизвикувачките работни услови на висока температура и можат ефикасно да го спречат ослободувањето на нечистотијата предизвикано од високата температура за време на работата, што помага да се гарантира квалитетот и приносот на епитаксијалните наполитанки.

3. Извонредна висока температура отпорност на корозија

Незаштитените графитни матрици се склони кон корозија и создавање честички, поради што дисковите за пренасочување на гас најчесто се обработуваат со облога од силициум карбид за да се зголеми нивната отпорност на корозија. Покриени со густа облога на SiC,  Дисковите за пренасочување на гас обложени со Semicorex SiC нудат одлична отпорност на оксидација и хемиска корозија, што им овозможува да функционираат стабилно во текот на долг работен век дури и при предизвикувачки работни услови со висока температура и корозивни.

4.Флексибилни можности за прилагодување

Семикорекс е опремен со повеќе напредна опрема за обработка, како што се опрема за CNC обработка, машини за мелење површини и опрема за дупчење со ултразвук,  нудејќи искусни способности за обработка. Semicorex може да понуди флексибилни услуги за прилагодување според цртежите на клиентите и да ги приспособи димензиите, толеранциите, плошноста на површината, дијаметрите на дупките и растојанието на дупките на дисковите за пренасочување на гас обложени со SiC за да обезбеди беспрекорна компатибилност со епитаксиалната опрема на клиентите.