Планетарни чувствителни обложени со SiC

Планетарните сенцептори обложени со Semicorex SiC се незаменлива потпорна компонента дизајнирана за полупроводнички епитаксијален раст во опремата Aixtron G2, во која тие се способни безбедно да поддржуваат обланди и да ротираат на начин на планетарно движење. На овој начин, може успешно да се постигне прецизна термичка униформност и рамномерна дистрибуција на гас низ површината на обландата, што резултира со врвно квалитетно таложење на епитаксијалниот слој на наполитанките.

Предности на планетарните сензори обложени со SiC-обложени Semicorex

1. Дизајн на џеб со повеќе нафора

Семикорекс обложен со SiCпланетарни сензориимаат униформа дистрибуција на неколку џебови за нафора со прецизно контролирани димензии. Овие џебови од обланда се способни цврсто да ги држат подлогите на обландата за време на процесот на епитаксијален раст, што може ефикасно да ги минимизира варијациите на епитаксијалниот процес предизвикани од несаканото движење на подлогите на обландата. Дополнително, овој дизајн на џеб со повеќе обланди овозможува повеќекратни подлоги на обланди да се подложат на епитаксијално таложење истовремено во еден процес, што значително ја подобрува севкупната ефикасност на процесот на епитаксијален раст.

2. Оптимизиран распоред на дупки за проток на гас

Semicorex вклучува внимателно дизајниран сет на канали за проток на гас во својотSiC-каотиранпланетарни сензори, што ја усовршува оптимизацијата на динамиката на протокот на гас и топлинската униформност низ површината на обландата во текот на епитаксијалниот процес. Овој внимателен дизајн овозможува прецизна контрола врз брзината на протокот и дистрибуцијата на гас во внатрешноста на комората за реакција, што е од суштинско значење за постигнување висококвалитетни тенки фолии, униформа дебелина на слојот и сигурни вкупни перформанси на уредот.

3. Ултра висока чистота

Планетарните чувствителни обложени со Semicorex SiC се произведени со материјали со ултра висока чистота и екстремно ниски нивоа на нечистотии, кои целосно ги задоволуваат строгите барања за чистота на производството на полупроводници. Тие ефикасно ја минимизираат контаминацијата на нафора предизвикана од метално испуштање гас, дури и при високи температури и корозивни услови типични за епитаксијалните процеси.

4. Долг работен век

Контролата на квалитетот на Semicorex започнува со нашиот ригорозен избор на суровини. Планетарните сензатори обложени со SiC се прецизно произведени од графит од полупроводничка класа и силициум карбид, нудејќи одлична отпорност на високи температури и отпорност на корозија, што ги прави совршено да ги издржат предизвикувачките високи температури, високо корозивни епитаксијални работни услови. Со овие одлични материјални својства, планетарните чувствителни обложени со Semicorex SiC можат да ги задржат своите постојани перформанси и структурен интегритет и да го избегнат нивното површинско оштетување и пад на перформансите во комори за реакција со висока температура и висока корозија, што на тој начин значително го продолжува работниот век на планетарните чувствителни обложени со SiC.