SIC Хоризонтални печки цевки

SIC хоризонтални цевки за печкасе незаменливите носачи на системот на печката, вообичаено лоцирани во областа за загревање на јадрото на опремата за производство на полупроводници или фотоволтаично производство. Тие работат заедно со грејните елементи, системите за контрола на температурата, системите за контрола на гасот и чамците со нафора за да го формираат целосниот систем на печката.

Во реалната работа, SIC хоризонталните цевки на печката се загреваат со грејните елементи, кои рамномерно ја пренесуваат топлината во цевките на печката со помош на одличната топлинска спроводливост на материјалите од силициум карбид. Во меѓувреме, специфичните процесни гасови (како што се кислород, азот, допинг гасови итн.) се внесуваат во цевката на печката. Под дејство на оваа високотемпературна гасна атмосфера, полупроводничките материјали внатре во печката ќе претрпат хемиски реакции или физички промени, со што на крајот ќе се постигне измена на материјалот, допинг или структурна оптимизација.

Хоризонталните цевки за печка на SIC на Semicorex обезбедуваат извонредна механичка сила и цврстина, што игра значајна улога во апликациите што вклучуваат ракување и обработка на нафора со голем волумен. Хоризонталните цевки на печката SIC се способни да обезбедат стабилна поддршка за обландите во процесите на термичка обработка како што се оксидација, дифузија и жарење, осигурувајќи дека наполитанките се во вистинската положба при обработка на висока температура и избегнување на поместување или деформација предизвикана од термички стрес.

Хоризонталните цевки за печка на SIC на Semicorex се произведени од висока чистотасилициум карбид керамикасо ултра ниска содржина на нечистотии, проследено со таложење на CVDоблога од силициум карбидна нивната површина. Овој производствен метод додава заштитен слој на SIC хоризонталните цевки на печката, што им овозможува да работат стабилно во високи температури и корозивни средини со текот на времето. Оваа изведба на отпорност на корозија на хоризонталните цевки на печката SIC ја подобрува ефикасноста на производството на полупроводнички нафора со ефикасно намалување на ризикот од оштетување на компонентите поврзани со корозија и намалување на потребата за чести замени и одржување.

Со толку многу супериорни својства, SIC хоризонталните цевки на печката на Semicorex се широко користени во многу процеси на обработка на високи температури во фотоволтаичните и полупроводничките индустрии како што се процесот на оксидација, процесот на дифузија, процесот на жарење и таложење на хемиска пареа низок притисок.