Sic Robot Hands

Semicorex SIC Robot Hands се најновите во крајните ефектори дизајнирани за апликации за трансфер на нафта за роботика во областа на производството на полупроводници. Направени со материјали со високи перформанси, ги дизајниравме овие роботски раце со силиконска карбид (SIC) керамика за да обезбедиме максимална термичка сумирање, хемиска стабилност и механичка јачина за сè посурово опкружување на измислица или ракување.

Централно за нашите раце на роботот SIC е нашиот напреден заштитеникСиликон карбидПознат по својата висока цврстина (MOHS 9), висока термичка спроводливост и отпорност на корозија. За разлика од традиционалните материјали како што се алуминиум или не'рѓосувачки челик, SIC е компатибилен со суровата околина за обработка на просториите за чистење на полупроводници, вклучувајќи преработени високи температури и реактивни гасови. Ние нудиме долгорочна издржливост и ја минимизираме загадувањето, во согласност со строгата чистота потребна за производство на нафта.

Полупроводничката опрема со SIC роботски раце Користете вшмукување на негативен притисок за да се добие нафта, т.е., нафтата на полупроводникот се adsorbed на кварц или керамички прст со употреба на принципот на вшмукување чаша проследен со транспорт со помош на механичко дејство што се протега, ротира и крева движење, соодветно.

„Висока брзина“ и „Чистота“ се основните карактеристики на опремата за ракување со нафора на полупроводници. За да се исполнат овие карактеристики, опремата има исклучително строги барања за перформансите на користените компоненти. Бидејќи повеќето процеси се вршат во вакуум, висока температура и корозивна околина на гас, раката за ракување што се користи во опремата мора да има одлични физички својства, како што се: висока механичка јачина, отпорност на корозија, отпорност на висока температура, отпорност на абење, висока цврстина, изолација и сл., И напредни керамички материјали можат само да ги исполнат овие услови.

Силиконска карбид керамикаИмајте физички својства на густа текстура, висока цврстина, голема отпорност на абење, како и добра отпорност на топлина, одлична механичка сила, добра изолација во висока температурна околина, добра отпорност на корозија и други физички својства. Тоа е одличен материјал за правење раце за ракување со опрема за полупроводници.

Признавајќи дека роботските платформи се разликуваат низ FABS и производителите на алатки, нашите SIC роботски раце се достапни во низа стандардизирани големини и можат да бидат прилагодени за уникатни конфигурации на алатки. Интерфејси за монтирање, геометрии на прсти и карактеристики за поддршка на нафта можат да бидат прилагодени за да се задоволат специфичната опрема и потребите на процесите. Без разлика дали пренесувате нафори во рамките на кластерите, вакуумските комори или системите FOUP, нашите роботски раце се интегрираат беспрекорно со водечките брендови за роботика.

Секоја рака роботска рака се подложува на ригорозно чистење, инспекција и процедури за пакување за да се обезбеди усогласеност со стандардите за чистење на простории од класа 1. Не-порозната, анти-статичка површина на SIC ја намалува адхезијата на честички, додека стабилната структура се спротивставува на микрофрактурите што може да доведат до создавање честички со текот на времето. Ова ги прави идеални за процесите на нафта од предната страна, каде што дури и најмало загадување може да доведе до неуспех на уредот.

Од епитаксијата и јонската имплантација до PVD, CVD и CMP, рацете на роботот на SIC се веруваат во секој чекор од изработка на полупроводнички уреди. Нивната супериорна отпорност на термички шок и плазма околини ги прави неопходни во линиите на напредна логика и моќност полупроводници, особено кога се користат подлоги на СИЦ нафора.