SiC вакуум чак

Semicorex SiC Vacuum Chuck е специјално дизајнирана алатка која безбедно ги држи полупроводничките наполитанки за време на критичните фази на обработка со најголема стабилност и доверливост. CVD SiC облогата на SiC вакуум чакот обезбедува исклучителна механичка сила, хемиска отпорност и термичка стабилност, осигурувајќи дека деликатните наполитанки се заштитени од какво било потенцијално оштетување или контаминација.

Уникатната комбинација на графит и слој SiC на SiC Vacuum Chuck нуди висока топлинска спроводливост и минимален коефициент на термичка експанзија. Ова овозможува ефикасна дисипација на топлина и рамномерна распределба на температурата низ површината на обландата. Овие карактеристики се од суштинско значење за одржување на оптимални услови за обработка и за подобрување на приносот во процесите на производство на полупроводници.

Вакум чак SiC е исто така компатибилен со вакуумски средини, обезбедувајќи супериорна адхезија помеѓу чак и нафора. Ова го елиминира ризикот од лизгање или неусогласеност при операции со висока прецизност. Неговата непорозна површина и инертните својства дополнително спречуваат какво било испуштање на гас или контаминација со честички, чувајќи ја чистотата и интегритетот на околината за производство на полупроводници.

Semicorex SiC Vacuum Chuck е технологија-темелник во производството на полупроводници, која нуди неспоредливи перформанси и издржливост за да се задоволат барањата на индустријата кои се развиваат. Без разлика дали се користи во литографија, офорт, таложење или други критични процеси, ова напредно решение продолжува да ги редефинира стандардите за извонредност при ракување и обработка на полупроводнички нафора.