SIC вакуумски чакови

SemicorexСиликон карбидSIC вакуумските чакови се високо-технолошки керамички алатки дизајнирани за безбедно и сигурно да ги држат нафта за полупроводници за време на процесите на отстранување на прецизните материјали. Тие се дизајнирани за употреба во ултра чиста, висока температура и хемиски груби околини. SIC вакуумските чакови помагаат во испорака на супериорна адсорпција и усогласување на нафора. Vacuum Chucks Semicorex SIC се произведуваат од керамика со силиконски карбид со висока чистота за да се обезбеди одлична механичка јачина, топлинска спроводливост и хемиска трајност.

Главната работа на вакуум Чак е да повлече униформа вшмукување низ површината на нафтата, така што нафтата се одржува стабилна за време на процесите како инспекција, таложење, еч и литографија. Типичните вакуумски чакови имаат проблеми со генерирање честички, искривување или влошување на хемикалии со текот на времето. За екстремни услови за производство на полупроводници, SIC вакуумските чакови ќе обезбедат супериорна долгорочна издржливост и стабилност.

Силиконските карбидни материјали се многу ценети за нивната цврстина, термичка стабилност и низок коефициент на термичка експанзија. Овие материјали ќе останат димензионално стабилни во текот на широк спектар на температури, овозможувајќи термичка стабилност и подобрена точност на процесот без термичка неусогласеност на нафтата. Нивната висока термичка спроводливост исто така овозможува брза дисипација на топлина, што е корисно во брзи услови на термичка почетна рампа или за кратки изложености на плазми со висока енергија.

Керамиката SIC не само што има термички и механички придобивки, туку е и отпорна на корозија на плазма и агресивни процесни гасови. Оваа одлика ги прави SIC вакуумските Чукови особено поволни за суво гравирање, CVD и PVD процеси каде материјалите на кварц или алуминиум нитрид можат да се деградираат со употреба. Хемиската инертност на SIC ќе помогне во ограничувањето на загадувањето и ќе се подобри времето на алатки.

Со цел да се обезбедат супериорни перформанси. Semicorex прави SIC вакуумски чакови и наведете екстремно тесни толеранции со ултра-рамни површини со структури на канали во ажурирање на микрони. Со овие карактеристики, таа обезбедува поддршка за нафора со прецизно вшмукување и регион на континуирано вшмукување за поддршка на нафта, намалување на шансите за искривување или кршење на самите нафори. Услугите за прилагодено дизајнирање се исто така достапни за да одговараат на различни големини на нафора (2 "до 12") во различни апликации.

Бидејќи повисоки приноси, контрола на процесите и сигурност се фактори, вакуумските чакови Sic се новите основни компоненти на опрема за полупроводници од следната генерација. Апликациите на SIC вакуумските чакови се директно врзани за зголемување на зголемувањето, сигурноста на опремата и контролата на обработката.