Вертикални чамци SiC

Вертикалните чамци Semicorex SiC се конструирани носачи на нафора, дизајнирани и произведени за да обезбедат најголема термичка, механичка и хемиска стабилност за вертикална полупроводничка обработка во печка. Изграден со висока чистотасилициум карбид, веруваме дека тие се најдобриот баланс на силата, издржливоста и чистотата за многу напредна термичка обработка на нафора, забележани како оксидација, дифузија, LPCVD и жарење во вертикални системи на печки.

Околините за обработка на вертикалната печка бараат систем за поддршка на нафора кој може да издржи повторени изложувања на висока температура, честопати надминува 1.200°C, и да остане димензионално стабилна без проблеми со контаминација. Вертикалните чамци SiC се истакнуваат по својата робусност во овие ситуации поради внатрешните механички и термички својства на рекристализираниот или CVD силициум карбид. Нивниот екстремно низок коефициент на термичка експанзија обезбедува минимално искривување или изобличување поради брзиот термички циклус. Дополнително, високата топлинска спроводливост нуди најголема локална температурна хомогеност кај сите наполитанки, што е критично за конзистентноста од обланда до обланда во дебелината на слојот, допинг профилите и електричните перформанси; важни аспекти на производството со голем волумен во полупроводничката индустрија.

Во споредба со традиционалните кварцни чамци, SiC Vertical Boats обезбедуваат супериорна механичка сила и продолжен работен век. Кварцот има тенденција да стане кршлив и да се девитрира со текот на времето, особено во агресивните хемикалии на печките, што доведува до повисоки трошоци за замена и потенцијални прекини на производството. Спротивно на тоа, силициум карбидот го одржува својот интегритет дури и по продолжена изложеност на корозивни гасови како хлор, HCl или амонијак, кои се вообичаени во различни процеси на дифузија и LPCVD. Неговата исклучителна отпорност на абење и оксидација во голема мера го намалува создавањето на честички, помагајќи да се заштитат површините на обландата од контаминација и формирање дефекти.

Вертикалните чамци SiC исто така нудат значителна придобивка во смисла на ултра чиста обработка. Материјалот со висока чистота на SiC се обработува под строго внимание за да се намалат препознатливите траги контаминирачки метали кои можат да се мешаат со оперативните карактеристики на полупроводничките уреди. Површините на SiC Vertical Boat се добро обработени со правоаголни карактеристики кои ја минимизираат можноста за фрлање на микрочестички. Површините на SiC се хемиски инертни и не реагираат со процесните гасови и затоа се помалку склони кон контаминација. Во овој поглед, SiC Vertical Boats се добро прилагодени за операциите за обработка на нафора на предниот крај на линијата (FEOL) и на задниот крај на линијата (BEOL).

Вертикалните чамци SiC нудат и флексибилност на дизајнот. Секој вертикален чамец може да биде специфичен за дизајнот за да се приспособат на повеќе дијаметри на нафора (150 mm, 200 mm или 300 mm) и бројот на процепите и растојанието може да се користат за да се исполнат барањата на процесот. Прецизната обработка и димензионалната контрола овозможуваат правилно порамнување на обландата и поддршка на обландата минимизирајќи ја веројатноста за какви било микро-гребнатини или напнати пукнатини за време на товарење, обработка и растоварување. Исто така, ако за одреден процес е потребна супериорна температурна униформност и/или помала топлинска маса, оптимизираните геометрии и дизајни на отворите може да се вградат во конфигурациите за вертикални чамци SiC, без да се жртвуваат никакви механички својства.

Друга предност е одржувањето и оперативната ефикасност. Цврстата конструкција наSiCВертикалните чамци го намалуваат времето и фреквенцијата на замена, а со тоа го минимизираат времето на застој или трошоците за сопственост. Отпорноста на термички шок на SiC овозможува пократки циклуси на греење и ладење за да се обезбеди поголема пропусност на производните линии. Одржувањето или чистењето на SiC Vertical Boats е исто така многу едноставно; материјалот може да ги издржи повеќето конвенционални процеси на влажно или суво чистење, вообичаени во полупроводничките фабрики како хемиско чистење со киселини и печење на висока температура.

Во оваа модерна ера на софистицирано производство на полупроводници каде што подобрувањето на приносот, контролата на контаминацијата и стабилноста во процесот имаат секаква важност, SiC Vertical Boats нудат вистинска технолошка предност. Тие добро се справуваат со физичките и хемиските предизвици на примената на вертикалните печки и придонесуваат за севкупната оптимизација на процесот со обезбедување интегритет на нафора, конзистентни резултати и подолг век на траење на опремата.