Вертикални чамци

Вертикалните чамци на Semicorex SIC се дизајнирани носачи на нафта, дизајнирани и произведени за да обезбедат највисока термичка, механичка и хемиска стабилност за вертикална обработка на полупроводници на печката. Конструиран од висока чистотаСиликон карбид, ние веруваме дека тие се најдобриот баланс на јачина, издржливост и чистота за многу напредна термичка обработка на нафора, забележани како оксидација, дифузија, LPCVD и annealing во системите за вертикална печка.

Вертикалните околини за обработка на печката бараат систем за поддршка на нафта кој може да издржи повторени изложености на висока температура, честопати надминувајќи 1.200 ° C и да остане димензивно стабилен без проблеми со загадување. Вертикалните чамци SIC се одликуваат во нивната стабилност во овие ситуации заради внатрешните механички и термички својства на рекристализиран или CVD силикон карбид. Нивниот екстремно низок коефициент на термичка експанзија обезбедува минимална искривување или искривување како резултат на брзото термичко возење велосипед. Покрај тоа, високата термичка спроводливост, нуди најголема хомогеност на локалната температура кај сите нафта, што е клучно за конзистентност на нафта до вриење во дебелина на слојот, профили на допинг и електрични перформанси; Важни аспекти на производство со голем волумен во индустријата за полупроводници.

Во споредба со традиционалните кварцни чамци, вертикалните чамци SIC даваат супериорна механичка сила и продолжен животен век. Кварц има тенденција да стане кршлив и девитрифициран со текот на времето, особено во агресивните хемиски печки, што доведува до поголеми трошоци за замена и потенцијални прекини во производството. Спротивно на тоа, силиконскиот карбид го одржува својот интегритет дури и по продолжената изложеност на корозивни гасови како што се хлор, HCl или амонијак, кои се вообичаени во различни процеси на дифузија и LPCVD. Неговата исклучителна отпорност на абење и оксидација во голема мерка ја намалува генерирањето на честички, помагајќи да се заштитат нафтените површини од загадување и формирање на дефекти.

Вертикалните чамци SIC исто така нудат значителна придобивка во однос на ултра-чистата обработка. Материјалот SIC со висока чистота се обработува под строга внимателност за да се намали идентификуваната трага на загадувачки метали што можат да се мешаат во оперативните карактеристики на полупроводничките уреди. СИЦ вертикалните површини со брод се добро завршени со одлики со право на агол кои ја минимизираат можноста за пролевање на микро-честички. SIC површините се хемиски инертен и не реагираат со процесни гасови и затоа се помалку склони кон загадување. Во овој поглед, вертикалните чамци SIC се добро прилагодени за предниот крај на линијата (FEOL) и задниот крај на линијата (BEOL) операции за обработка на нафта.

Вертикалните чамци SIC исто така нудат флексибилност во дизајнот. Секој вертикален брод може да биде специфичен за дизајнот за да смести повеќе дијаметар на нафора (150 мм, 200 мм или 300 мм нафора) и бројот на слот и растојанието може да се искористи за да се исполнат барањата за процеси. Прецизната обработка и димензионалната контрола овозможуваат соодветно усогласување на нафора и поддршка на нафора Минимизирање на веројатноста за какви било микро-крикови или пукнатини на стрес за време на вчитување, обработка и истовар. Исто така, ако супериорната температурна униформност и / или помалку термичка маса е потребна за одреден процес, оптимизираните геометрии и дизајни на слот може да бидат вклучени во конфигурациите на вертикалниот брод SIC, без да жртвуваат механички својства.

Друга предност е одржувањето и оперативната ефикасност. Цврста конструкција наSicВертикалните чамци го намалуваат времето и фреквенцијата на замена, а со тоа се минимизираат прекинот или цената на сопственоста. Отпорноста на термичката шок на SIC овозможува пократки циклуси на греење и ладење за да се обезбеди поголема моќност на производните линии. Одржувањето или чистењето на вертикалните чамци SIC е исто така многу едноставно; Материјалот може да издржи повеќето конвенционални процеси на влажно или суво чистење, вообичаени кај полупроводнички фабрики, како што се хемиско чистење со киселини и печење со висока температура.

Во оваа модерна ера на софистицирана измислица на полупроводници каде подобрувањето на приносот, контролата на загадувањето и стабилноста во процесот имаат сета важност, вертикалните чамци на SIC нудат вистинска технолошка предност. Тие добро се занимаваат со физичките и хемиските предизвици на апликациите за вертикална печка и придонесуваат за целокупната оптимизација на процесите со испорака на интегритет на нафта, постојани резултати и подолг живот на опрема.