SiC нафора чамци

Semicorex SiC Wafer Boat, изработен од силициум карбид (SiC) керамика, го предводи патот во исполнувањето на барањата на индустријата за полупроводници обезбедувајќи неспоредливи перформанси во средини со високи температури. Како што индустријата за полупроводници немилосрдно ги поместува границите на микрофабрикацијата, побарувачката за еластични и цврсти материјали станува огромно.

SiC Wafer Boat игра клучна улога во држење и поддршка на повеќе обланди за време на термички процеси како што се дифузија, оксидација и хемиско таложење на пареа (CVD). Овие процеси вклучуваат подложување на наполитанките на екстремно високи температури, кои често надминуваат 1000°C, во контролирана атмосфера. Еднообразноста и конзистентноста на овие термички третмани се клучни за обезбедување на квалитетот и перформансите на полупроводничките уреди што се произведуваат. Способноста на SiC Wafer Boat да издржи толку високи температури без деформација или деградација осигурува дека наполитанките се подеднакво обработени, што доведува до супериорен принос и перформанси на уредот.

Исклучителната топлинска спроводливост на чамците со нафора SiC гарантира рамномерна дистрибуција на топлина низ сите наполитанки, минимизирајќи го ризикот од температурни градиенти што може да доведат до дефекти на полупроводничките уреди. Понатаму, нискиот коефициент на термичка експанзија (CTE) на SiC резултира со минимална термичка експанзија и контракција за време на циклусите на загревање и ладење. Оваа стабилност е клучна за спречување на механички стрес и потенцијално оштетување на наполитанките, особено со смалување на геометриите на уредот.

За време на термичките процеси, наполитанките се изложени на различни реактивни гасови кои можат да стапат во интеракција со материјалите на бродот со нафора SiC. Одличната хемиска отпорност на SiC гарантира дека тој не реагира со овие гасови, спречувајќи ја контаминацијата и обезбедувајќи чистота на наполитанките. Ова е особено клучно во производството на напредни полупроводнички уреди, каде што дури и траги од контаминација може да доведат до дефекти и да ја намалат доверливоста на уредот.