SiC нафора касета

Касета за нафора Semicorex SiC, позната и како плочка со обланда, е развиена специјално за операции на оксидација, дифузија и жарење на температури над 1200°C. Касетите обезбедуваат значителна механичка поддршка, како и порамнување на многу обланди одеднаш за време на употребата на печката на висока температура и покажуваат голема механичка и димензионална стабилност при термички стрес и потоа.  Побарувачката за ултра чисти и термички стабилни материјали за системи за ракување со обланда се зголемува бидејќи полупроводничките уреди се намалуваат во големината и се зголемуваат во перформансите.

Касетата е направена од висока чистотасилициум карбид, има и премази кои можат да се применат и за уште поголеми придобивки. SiC има одличен термички шок, корозија и стабилност на димензионална деформација.  SiC има единствена цврстина, хемиска инертност и топлинска спроводливост, така што е идеален материјал за оваа процесна средина. SiC, во однос на алтернативите на кварц и алумина нема да ги намали неговите механички и хемиски својства при високи температури на обработка, а со тоа ќе го намали ризикот од контаминација и ќе ја подобри униформноста на процесот на обланда за време на производните процеси.

Ултра високата чистота на касетата за нафора SiC покажува отпорност на метални или јонски загадувачи кои влегуваат во комората за процесирање; нешто што е апсолутно неопходно за висока чистота за да се задоволат барањата на процесот за напредни процеси на производство на полупроводници. Со минимизирање на изворите на загадувачи, касетите со силициум карбид ќе го зголемат приносот на нафора и доверливоста на уредот.

Технологијата за прецизна обработка на Semicorex овозможува секоја касета да се произведува со тесни толеранции, униформа јачина на отворите и паралелно порамнување. Прецизната обработка на материјалите поддржува непречено полнење и растоварување на нафора, што ја намалува можноста за гребење при ракување со наполитанки. Прецизното растојание на процепите овозможува рамномерна температура и проток на воздух низ сите обланди, што промовира униформност во оксидацијата и дифузијата додека ја намалува варијабилноста на процесот.

SiC има одлична топлинска спроводливост, димензионална стабилност и обезбедува сигурни перформанси при повторен термички циклус. Материјалот е стабилен и не се искривува или пука; неговата висока вкочанетост го одржува структурниот интегритет со висока температура во долги временски периоди, значително намалувајќи го механичкиот стрес на наполитанките додека ја ограничува веројатноста за појава на несакани честички генерирани од ракување поради триење или микро-вибрации.

Покрај тоа,SiCИнертноста на хемикалиите ги штити наполитанките од реакција на процесните гасови (на пример, кислород, водород, амонијак) кои обично се вклучени за време на обработката. Касетите со нафора се стабилни во оксидирачки и неоксидирачки атмосфери и можат да се вградат во работниот тек на печката преку голем број процеси како што се оксидација, дифузија, LPCVD и жарење.

За да се исполнат специфичните барања за процесот, Semicorex нуди прилагодени SiC касети за нафора во различни големини, број на слотови и конфигурации. Секоја единица е подложена на ригорозен преглед на квалитетот и површинска обработка за да се обезбеди мазност, чистота и прецизност на димензиите. Изборното полирање на површината дополнително го намалува создавањето на честички и ја подобрува компатибилноста со автоматизираните системи за ракување со обланда.