Чамци со касети од силикон карбид

Семикорексчамци со касети од силициум карбидсе незаменливите компоненти за носење, со нивната стабилна и висока цврстина структура, безбедно и прецизно безбедно држат, пренесуваат и ракуваат со повеќе полупроводнички наполитанки. Тие се широко користени во различните процеси на полупроводници со висока температура за да се обезбеди оптимизирана дистрибуција на протокот на топлина и гас за конзистентни резултати од обработката.

Внимателно избрана суровина

Прецизно изработени од прав од силициум карбид од полупроводник преку синтерување со висока температура, чамците со касети од силикон карбид Semicorex ги поседуваат следниве одлични својства.

1. Ултра-висока чистота:Содржината на нечистотија на подлогата е контролирана да биде под 100 PPM, а нивото на нечистотија наCVD силициум карбидоблогата може да достигне помалку од 1 PPM.

2. Сигурна отпорност на корозија:Керамиката од силициум карбид обезбедува силна отпорност на корозија и е отпорна на корозија од повеќето киселини (како што се хлороводородна киселина, сулфурна киселина и флуороводородна киселина), алкали (како каустична сода), растворувачи и оксидирачки медиуми.

3. Исклучителен капацитет за термичко управување:Со исклучителен термички отпор и низок коефициент на термичка експанзија, чамците со касети со силициум карбид можат да ги задржат своите хемиски својства и механичка сила дури и кога се изложени на долготрајни работни услови на висока температура околу 1250 °C.

Прецизно дизајнирана структура

1. Хоризонтална структура на рамка:Хоризонталната структура на рамката на чамците со касети со силикон карбид Semicorex ги прави совршено прилагодени на хоризонталните цевки на печката со висока температура.

2. Рамномерно распоредени засеци:Одликувајќи се со бројни рамномерно распоредени жлебови, касетите со силикон карбид Semicorex можат цврсто да ја држат нафората на место, што може значително да ги спречи несаканите гребнатинки, гребнатини и оштетувања кои произлегуваат од поместувањето на нафората, со што ефикасно обезбедува стабилност на процесот на полупроводници и принос на обландата.

3. Дизајн со повеќе слот:Повеќекратните слотови дизајнирани да носат повеќе наполитанки им овозможуваат на чамците со касети со силициум карбид Semicorex да ја подобрат нивната пропусност на обработка во една серија и севкупната ефикасност на производството.

4. Отворена архитектура:Бродовите со касети од силикон карбид Semicorex се опремени со внимателна отворена архитектура, која може да помогне да се постигне рамномерна дистрибуција на гас и доволен контакт со реакција, што на тој начин ефикасно ги минимизира неконзистентните резултати од процесот.