Силикон карбид керамички нафора чамци

Избор на врвен материјал

Одличните својства на керамиката со силициум карбид Semicorexчамци со нафорасе припишуваат на висококвалитетни суровини. Направени од материјал SiSiC од полупроводник и покриени со CVD SiC слој, чамците со керамички нафора од силикон карбид ги покажуваат следните одлични својства.

1. Ултра-висока чистота, без ослободување на метални нечистотии

Нечистотија на подлогата: ＜100 ppm

Нечистотија на CVD SiC облогата: ＜1 ppm

2.Супериорна термичка стабилност

Нафора со керамички чамци од силициум карбид се способни да работат стабилно во услови на висока температура од 1250℃, обезбедувајќи минимална деформација и отпорност на лази.

3. Висока механичка сила

Силициум карбидпоседува висока цврстина и отпорност на абење, овозможувајќи им на чамците со керамички нафора со силициум карбид Semicorex да се спротивстават на гребнатини, гребнатини и оштетувања, со што се изведуваат добро при долготрајно работење и се отпорни на оштетување.

4.Исклучителна отпорност на корозија

Бидејќи силициум карбидот е отпорен на корозија од силни киселини и алкалии,  Семикорекс керамичките нафора со силициум карбид можат да го задржат својот структурен интегритет и функционални перформанси дури и при високо корозивни работни услови.

Оптимизиран структурен дизајн

Керамичките чамци со силициум карбид Semicorex се дизајнирани за сериска обработка на нафора, нивната оптимизирана структурна рамка обезбедува стабилна поддршка за сериска обланда и конзистентна стабилност на процесот за секоја обланда.

1.3-пост вертикална потпорна структура

Вертикалната структура на чамците со керамички нафора со силициум карбид Semicorex им овозможува беспрекорно да одговараат на вертикалните апликации на печката. Со оваа структура,  емикорекс силикон карбид-керамичките нафора можат да ја олеснат хомогената циркулација на процесните гасови и рамномерната дистрибуција на топлинската енергија во печката со висока температура.

2.Униформно распоредени штипки за слот

Семикорекс силициум карбид керамички нафора чамци се опремени со повеќе прецизно обработени штипки на нивните потпорни столбови. Нивните рамномерно распоредени штипки постигнуваат соодветно растојание на отворите, што им овозможува на чамците со керамички нафора со силициум карбид цврсто да ги зацврстат полупроводничките наполитанки, а со тоа придонесува за подобрување на конзистентноста на резултатите од термичката обработка на обландите.

Со толку многу одлични перформанси и функции, керамичките нафора со силициум карбид Semicorex се широко користени во основните процеси на производство на полупроводнички нафора, како што се оксидација, дифузија, имплантација на јони и жарење на висока температура.