Силиконски криви електроди

За време на напредната опрема за офорт, силициумската закривена електрода обично се поставува на врвот на комората за офорт, свртена кон полупроводничката обланда. Силиконската закривена електрода вообичаено работи заедно со електростатската чак, прстенот за фокусирање Si, прстенот на рабовите Si, прстенот за издувните гасови и Si заштитниот прстен за да обезбеди оптимални работни услови за високопрецизно офортување.

Функции на силиконски криви електроди Semicorex

1. Компатибилен со сложено офорт на 3D структура

Со исклучителна 3D способност за контрола на електричното поле, Semicorexсиликонски криви електродиможе совршено да одговара на геометриските карактеристики на сложените структури. Специјалниот заоблен дизајн овозможува прецизна контрола на плазмата и оптимизирана дистрибуција на енергија, што значително влијае на односот на страните и вертикалноста на страничниот ѕид на офортувањето на 3D структурата и целосно ги задоволува барањата на производната линија на напредните процеси на пакување и интеграцијата на 3D IC.

2. Прецизна контрола на дистрибуцијата на гасови од офорт

Силиконските закривени електроди Semicorex имаат повеќе рамномерно распоредени микродупки на нивната површина за гасот за гравирање да влезе во комората за офорт. Силиконските закривени електроди Semicorex можат да постигнат прецизна контрола на гасот за офорт и да му овозможат да биде рамномерно распореден во комората за офорт, со што се минимизираат варијациите на процесот предизвикани од нееднаква дистрибуција на гасот.

Предности на силиконските закривени електроди Semicorex

1. Ултра-висока чистота

Силиконските закривени електроди Semicorex се направени од еднокристал со ултра висока чистотасиликонсо ниво на чистота над 99,9999999%, нудејќи супериорна отпорност на ерозија на плазмата. Овој избор на материјали со висок стандард може ефективно да избегне несакана контаминација што произлегува од офортирање на нуспроизводи, а истовремено значително да го продолжи работниот век на силиконските закривени електроди.

2. Одлични електрични својства

Произведени од еднокристален силициум израснат во MCZ, силиконските закривени електроди Semicorex покажуваат извонредна униформност на отпорност: ~ 5%, и широк опсег на отпорност што може да се избере: ниска резолуција. (<0,02), средна рез. (1–4) и висока резолуција. (70-90).

3. Прецизна прецизност на обработка

Преку високопрецизна механичка обработка, силиконските закривени електроди Semicorex постигнуваат конзистентна големина на порите и рамномерна дистрибуција на дупките. Нивните површини се фино полирани и мелени: полирани (Ra < 0,1 μm) и мелени (Ra < 1,6 μm), со вкупна прецизност на обработка контролирана во рамките на 0,03 mm.