Силиконски офорт прстени

Силиконските прстени за офорт се основните компоненти во комората за офорт со плазма на опремата за офорт CCP/ICP и обично се поставуваат околу полупроводничката обланда. Нивните примарни функции се да ја поддржат полупроводничката обланда, да одржуваат рамномерна распределба на плазмата, да го заштитат работ на обландата и на тој начин да помогнат да се создадат оптимални работни услови за процесот на плазма офорт.

Предности на силиконските прстени за офорт Semicorex

1. Избор на врвен материјал

Силиконските прстени за офорт семикорекс се произведени од внимателно избраниот MCZ со висока чистотамонокристален силициум, кој ги нуди следните одлични својства во однос на конвенционалниот CZ монокристален силициум.

Висока чистота: Чистотата е над 99,9999999%, што значи дека силиконските прстени за гравирање Semicorex речиси не содржат нечистотии. Оваа ултра висока чистота може ефикасно да го избегне мешањето од нечистотиите на компонентите за време на процесот на офорт, а со тоа гарантира висока прецизност на офорт.

Стабилна структура: Монокристалниот силикон MCZ се одликува со супериорна кристална структура со помали дефекти од конвенционалниот монокристален силикон CZ. Оваа стабилна кристална структура им дава на Semicorex силиконските прстени за гравирање зголемена отпорност на корозија на плазма корозија и им овозможува да издржат тешки работни услови за офорт.

Одлична униформност на отпорност:Семикорекс силиконски офорт прстениобезбедува исклучителна униформност на отпорот со RRG < 5%. Ниска резолуција. (<0,02 Ω·cm), среден рез. (0,2–25 Ω·cm), висока резолуција. (> 100 Ω·cm). Оваа одлична униформност на отпорноста може да ја минимизира нерамномерната распределба на плазмата предизвикана од претерано висока или мала отпорност, што придонесува за идеално електрично поле за високопрецизно плазма офорт.

2. Прецизна обработка и строга проверка на квалитетот

Semicorex може да се пофали со искусен технички тим кој може да обезбеди персонализирано прилагодување и технички проценки за нашите ценети клиенти и исто така воспостави систематски процедури за обработка и инспекција за да го гарантира квалитетот на производот.

Флексибилни услуги за прилагодување: Semicorex поддржува прилагодување врз основа на цртежите на клиентите, а максималниот прилагоден дијаметар на прстените за офорт од силикон може да биде до 470 mm.

Површинска обработка со висок стандард: прецизноста на полирањето може строго да се контролира во рамките на Ra <0,1 µm, а фино брусење постигнува завршна обработка на површината од Ra > 0,1 µm.

Строга проверка на квалитетот: мерењето на димензиите, тестирањето на отпорноста и визуелната инспекција ќе бидат преземени за да се обезбеди дека прстените за офорт од силикон нема чипови, гребнатини, пукнатини, дамки и други дефекти.