Силиконски носач за нафора

Semicorex обезбедува полупроводничка керамика за вашите OEM алатки за полуфабрикување и компоненти за ракување со обланди кои се фокусираат на слоевите на силициум карбид во полупроводничките индустрии. Ние сме производител и снабдувач на силиконски носач за нафора многу години. Нашиот Силиконски носач за нафора има добра ценовна предност и покрива поголем дел од европскиот и американскиот пазар. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Процесите на таложење на полупроводници користат комбинација од испарливи прекурсорски гасови, плазма и висока температура за да се обложат висококвалитетни тенки фолии на наполитанки. Коморите за таложење и алатките за ракување со обланда имаат потреба од издржливи керамички компоненти за да се спротивстават на овие предизвикувачки средини.
Семикорекс Силиконскиот носач на нафора е силициум карбид со висока чистота, кој има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост.

Параметри на силиконски носач на нафора

Технички својства
Индекс	Единица	Вредност
Име на материјалот		Реакција синтеруван силициум карбид	Силикон карбид без притисок	Рекристализиран силициум карбид
Состав		RBSiC	SSiC	R-SiC
Масовна густина	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Јачина на свиткување	MPa (kpsi)	338 (49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Јачина на притисок	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
Цврстина	Копче	2700	2800	/
Кршење на издржливост	MPa m1/2	4.5	4	/
Топлинска спроводливост	W/m.k	95	120	23
Коефициент на термичка експанзија	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Специфична топлина	Џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура во воздухот	℃	1200	1500	1600
Еластичен модул	Gpa	360	410	240

Разликата помеѓу SSiC и RBSiC:

1. Процесот на синтерување е различен. RBSiC треба да го инфилтрира слободниот Si во силициум карбид на ниска температура, SSiC се формира со природно собирање на 2100 степени.

2. SSiC имаат помазна површина, поголема густина и поголема јачина, за некои заптивки со построги барања за површината, SSiC ќе биде подобар.

3. Различно искористено време под различна PH и температура, SSiC е подолго од RBSiC

Карактеристики на силиконски носач на нафора

Графит обложен со SiC со висока чистота
Супериорна отпорност на топлина и топлинска униформност
Фин SiC кристал обложен за мазна површина
Висока издржливост против хемиско чистење
Материјалот е дизајниран така што да не се појавуваат пукнатини и раслојување.

Достапни форми на силициум карбид керамика:

● Керамичка прачка / керамичка игла / керамички клип

● Керамичка цевка / керамичка черупка / керамички чаур

● Керамички прстен / керамичка мијалник / керамички разделник

● Керамички диск

● Керамичка плоча / керамички блок

● Керамичка топка

● Керамички клип

● Керамичка млазница

● Керамички сад

● Други сопствени керамички делови