Вертикален брод со нафора

Semicorex Vertical Wafer Boat е специјално дизајниран носач за повеќе обланди што ја максимизира ефикасноста на просторот во коморите за обработка. Овие вертикални нафора обично имаат правоаголна или цилиндрична форма и секој брод има прецизно обработени слотови или џебови кои се распоредени за безбедно да ги држат поединечните наполитанки во исправена положба. Вертикалниот брод со нафора е направен од силициум карбид (SiC) кој обезбедува одлична отпорност на високи температури, корозивни хемикалии и механички стрес, што ги прави идеални за заштита на обландите од потенцијално оштетување.

За време на производството на полупроводници, обландите се подложени на бројни сложени процеси, вклучувајќи дифузија, RTP и термички полиња. Вертикалниот брод со нафора игра витална улога во олеснувањето на овие процеси со тоа што служи како носач за наполитанки, овозможувајќи беспрекорен пренос помеѓу различна опрема и фази. Неговата вертикална ориентација го минимизира отпечатокот во коморите за обработка, оптимизирајќи ја пропусната моќ и овозможувајќи ефикасно ракување со големи серии нафора.

Вертикалниот брод со нафора Semicorex е камен-темелник на полупроводничка обработка, обезбедувајќи цврсто и сигурно решение за безбедно ракување и транспорт на наполитанки низ различни фази на производство. Неговиот напреден дизајн, заедно со исклучителните својства на SiC, ја нагласува неговата клучна улога во производството на најсовремени полупроводнички уреди.