Вертикален брод со нафора

Semicorex Vertical Wafer Boat е специјално дизајниран носач за повеќе обланди што ја максимизира ефикасноста на просторот во коморите за обработка. Овие вертикални нафора обично имаат правоаголна или цилиндрична форма и секој брод има прецизно обработени слотови или џебови кои се распоредени за безбедно да ги држат поединечните наполитанки во исправена положба. Вертикалниот брод со нафора се конструирани од силициум карбид (SiC) кој обезбедува одлична отпорност на високи температури, корозивни хемикалии и механички стрес, што ги прави идеални за заштита на обландите од потенцијално оштетување.

За време на производството на полупроводници, обландите се подложени на бројни сложени процеси, вклучувајќи дифузија, RTP и термички полиња. Вертикалниот брод со нафора игра витална улога во олеснувањето на овие процеси со тоа што служи како носител за наполитанки, овозможувајќи беспрекорен пренос помеѓу различна опрема и фази. Неговата вертикална ориентација го минимизира отпечатокот во коморите за обработка, оптимизирајќи ја пропусната моќ и овозможувајќи ефикасно ракување со големи серии нафора.

Вертикалниот брод со нафора Semicorex е камен-темелник на полупроводничка обработка, обезбедувајќи цврсто и сигурно решение за безбедно ракување и транспорт на наполитанки низ различни фази на производство. Неговиот напреден дизајн, заедно со исклучителните својства на SiC, ја нагласува неговата клучна улога во производството на најсовремени полупроводнички уреди.