Брод со нафора

Semicorex Wafer Boat е дизајниран да ги издржи суровите услови на дифузната печка, како што се високите температури, корозивни средини и потребата за прецизно поставување на нафора за време на процесот на дифузија.

Wafer Boat е изработен од силикон карбид керамика, избран поради неговите исклучителни својства. Силициум карбид е познат по својата висока топлинска спроводливост, обезбедувајќи рамномерна распределба на температурата низ обландите за време на дифузијата. Оваа униформност е од клучно значење за одржување на интегритетот на наполитанките и за обезбедување конзистентни нивоа на допинг, кои се од суштинско значење за функционалноста на полупроводничките уреди што се произведуваат. Дополнително, високата точка на топење и термичката стабилност на силициум карбид му овозможуваат на бродот со нафора да работи на покачени температури потребни во процесите на дифузија, честопати надминувајќи ги 1000°C, без да се деградира или искривува.

Една од клучните предности на керамиката од силикон карбид во чамецот со нафора е неговата одлична хемиска отпорност. Овој отпор е особено важен за одржување на чистотата на полупроводничките наполитанки, бидејќи секоја контаминација може да доведе до дефекти во финалниот производ, компромитирајќи ги перформансите на интегрираните кола.

Структурниот интегритет на Wafer Boat е уште еден критичен фактор во неговиот дизајн. Дизајнот мора да осигури дека наполитанките безбедно се држат на место, со прецизно растојание за да се овозможи рамномерна изложеност на реактивни гасови. Оваа прецизност е од витално значење за постигнување униформа допинг низ сите обланди, што директно влијае на електричните карактеристики на полупроводничките уреди.

Покрај неговите термички и хемиски својства, керамиката од силикон карбид нуди одлична димензионална стабилност, клучна за барањата за висока прецизност на производството на полупроводници. Оваа стабилност осигурува дека обландите остануваат совршено порамнети, овозможувајќи прецизна и униформа дифузија на допанти низ целата површина на секоја обланда, што доведува до производство на висококвалитетни полупроводнички уреди.

Semicorex Wafer Boat направен од силикон карбид керамика е суштинска компонента во процесот на дифузија на полупроводници. Неговата исклучителна топлинска спроводливост, хемиска отпорност, механичка сила и димензионална стабилност го прават идеално погоден за тешките услови на производство на полупроводници. Неговата употреба не само што ја подобрува ефикасноста и доверливоста на процесот на дифузија, туку придонесува и за севкупната исплатливост на производството на полупроводници.