Вакуум чак за нафора

Совршени за следната генерација апликации за литографија и ракување со обланда, ултра-чистите керамички компоненти Semicorex обезбедуваат минимална контаминација и обезбедуваат исклучително долг животен век. Нашиот вакуум чак има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Семикорекс ултра рамен керамички вакуум чак со нафора е обложен со висока чистота SiC кој се користи во процесот на ракување со нафора. Полупроводничка вакуумска чак од MOCVD опрема Растот на соединението има висока отпорност на топлина и корозија, што има голема стабилност во екстремно опкружување и го подобрува управувањето со приносот за обработка на полупроводнички нафора. Конфигурациите со низок контакт на површината го минимизираат ризикот од честички од задната страна за чувствителни апликации.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетен, рентабилен вакуум чак, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме исплатливи решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на нафора вакуум чак

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300