Semicorex обезбедува чамци за нафора, постаменти и сопствени носачи на нафора и за вертикални / колони и за хоризонтални конфигурации. Ние сме производител и снабдувач на филм за обложување силициум карбид многу години. Нашиот Batch Wafer Boat има добра ценовна предност и покрива поголем дел од европскиот и американскиот пазар. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.
Semicorex Batch Wafer Boat се направени од висококвалитетен керамички материјал од силициум карбид за супериорна хемиска отпорност и термичка стабилност.
Нашиот Batch Wafer Boat има мазна завршна површина и обезбедува одлична поддршка и заштита на обландата за време на обработката. Облогата SiC обезбедува униформност и стабилност при обработката, заштитувајќи ги наполитанките од контаминација и оштетување. Со одлична топлинска спроводливост и супериорна механичка сила, нашите држачи за нафора обезбедуваат постојани и сигурни резултати.
Нашиот тим од експерти е посветен на обезбедување на најдобар квалитет и услуга. Ние нудиме сопствени дизајни за да ги задоволат вашите специфични барања, а нашите сериски чамци со нафора се поддржани од нашата програма за обезбедување квалитет.
Параметри на серискиот брод со нафора
Технички својства |
||||
Индекс |
Единица |
Вредност |
||
Име на материјалот |
Реакција синтеруван силициум карбид |
Силикон карбид без притисок |
Рекристализиран силициум карбид |
|
Состав |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Масовна густина |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Јачина на свиткување |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Јачина на притисок |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970(560) |
> 600 |
Цврстина |
Копче |
2700 |
2800 |
/ |
Кршење на издржливост |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Топлинска спроводливост |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Коефициент на термичка експанзија |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Специфична топлина |
Џул/г 0к |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимална температура во воздухот |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Еластичен модул |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Разликата помеѓу SSiC и RBSiC:
1. Процесот на синтерување е различен. RBSiC треба да го инфилтрира слободниот Si во силициум карбид на ниска температура, SSiC се формира со природно собирање на 2100 степени.
2. SSiC имаат помазна површина, поголема густина и поголема јачина, за некои заптивки со построги барања за површината, SSiC ќе биде подобар.
3. Различно искористено време под различна PH и температура, SSiC е подолго од RBSiC
Карактеристики на Batch Wafer Boat
- Висока јачина (тврдост на Мохс 9,5, втор само по дијамантот)
- Отпорност на корозија на киселини, алкалии, соли и органски растворувачи
- Висока топлинска спроводливост, отпорност на плазма, долг животен век
- Полупроводници