Поднесувач на буре од реактор обложен со карбид

Semicorex Carbide-обложена со реакторска барел Susceptor е графитен производ со врвен квалитет обложен со SiC со висока чистота, дизајниран специјално за LPE процеси. Со одлична отпорност на топлина и корозија, овој производ е совршен за употреба во апликации за производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Ако барате графитен сензор со високи перформанси за формирање на епитаксијален слој на полупроводнички наполитанки, Semicorex Carbide-обложениот реакторски сусцептор е одличен избор. Неговата обвивка од силициум карбид обезбедува супериорна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост, обезбедувајќи исклучителни перформанси дури и во најсложените средини со висока температура.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување на висококвалитетен, исплатлив карбид-обложен сензор за буре од реактор, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на карбид-обложена реакторска буре суцептор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на карбид-обложена реакторска буре сенцептор

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.