Поднесувач на буре од реактор обложен со карбид

Semicorex Carbide-обложена со реакторска барел сусцептор е графитен производ со врвен квалитет обложен со SiC со висока чистота, дизајниран специјално за LPE процеси. Со одлична отпорност на топлина и корозија, овој производ е совршен за употреба во апликации за производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Ако барате графит со високи перформанси за формирање на епитаксијален слој на полупроводнички наполитанки, Semicorex Carbide-обложениот реакторски сензор за буре е одличен избор. Неговата обвивка од силициум карбид обезбедува супериорна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост, обезбедувајќи исклучителни перформанси дури и во најсложените средини со висока температура.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување на висококвалитетен, исплатлив карбид-обложен реакторот за буре, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме исплатливи решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на карбид-обложена реакторска буре суцептор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на карбид-обложена реакторска буре сенцептор

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.