Силикон карбид SiC обложена барел сенцептор

Semicorex е водечки независен производител на силициум карбид SiC обложен за буриња, прецизен машински графит со висока чистота, фокусирајќи се на графит обложен со силикон карбид, силициум карбид керамика, MOCVP области на производство на полупроводници. Нашиот сусцептор за буриња обложен со силикон карбид SiC има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex Silicon Carbide SiC Coated Barrel Susceptor е графитен производ обложен со високо прочистен SiC, кој има висока отпорност на топлина и корозија. Погоден е за LPE. Силиконски карбид SiC обложен за буриња подлошка што се користи во процесите кои го формираат епиксијалниот слој на полупроводничките наполитанки, кој има висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот суцептор за буриња обложен со силикон карбид SiC.

Параметри на силициум карбид SiC обложена барел сенцептор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување од 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на силициум карбид SiC обложена буриња подлошка

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.