Поднесувач на буре обложена со силикон карбид

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor е висококвалитетен графитен производ обложен со SiC со висока чистота, кој нуди исклучителна отпорност на топлина и корозија. Тој е специјално дизајниран за LPE апликации во индустријата за производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

НашиотПоднесувач на буре обложена со силикон карбидод Semicorex е идеално решение за одгледување единечни кристали во високотемпературни и корозивни средини.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, исплатливиобложена со силициум карбидсензор за барел, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри наОбложено со силициум карбидРесивер за буре

Главните спецификации наCVD-SIC облога
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики наОбложено со силициум карбидРесивер за буре

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.